Fuji errorcode - 第2456页

<remedy > 对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8 0009401"> <disp> 相机注册异常 </disp > <mc…

<img />

</code>

<disp>晶圆 ID 字符数超出</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 晶圆 ID 的字符数超出了限制。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请将晶圆 ID 的字符数变成 31 个字符以下。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表数据异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die Check Mode 的设定如果为

NoCheck 以外，在晶圆图表中按一定间隔被配置了复数的参考晶片，但是没有找到。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请确认在晶圆图表中是否按一定间隔被配置了复数的参考晶片。（在晶圆

的倾斜补正中使用的参考晶片需要在纵方向和横方向上各自不同的参考晶片）

2．如果没有使用晶圆图表管理工具（WMM）的转换器版本 V1.20 以后，创建晶圆图表

时，请重新创建。

3．如果在晶圆图表中没有按一定间隔配置了复数的参考晶片时，请将 Ref.Die Check Mode

设定为 NoCheck，进行运用。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] 系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

<img />

</code>

<disp>相机注册异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] ＭＷＵ相机注册失败了。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>相机注册删除异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] ＭＷＵ相机注册删除失败了。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(5) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>