Fuji errorcode - 第2624页
料盘元件 料盘厚度是指下列厚度 的合计。 [Package Informati on]Tab 标签页 - [Tray Thickness] 料盘转换器厚度: 4. 42mm </re medy> <img>N XT\ EN \WaferThi ckness.gif</i mg> </code> <code id="8 000AB3C"> <disp&g…
占用 1 个站位时的厚度上限:〜6.0mm
占用 2 个站位时的厚度上限:〜16.0mm
占用 3 个站位时的厚度上限:〜25.4mm(补充编码 发生异常时的料槽号码))</cause>
<remedy>NXT-H:请先执行对策 1 或 2,然后再重新传送 Job。
对策 1:请重新配置站位(方法:优化)。
对策 2:请对下列项目进行确认。如果设置有误,则请先将设置改为规定范围内的数值(参
考内容栏),然后再重新传送 Job。
裸芯片
晶圆厚度由下列厚度所组成。
带扩晶环时
元件高度 :[Shape Information]Tab 标签页 - [Body] - [Height]
Grip Ring 厚度:[Package Information]Tab 标签页 - [Grip Ring Height]
晶圆转换器厚度:2.27mm (仅限需要的情形)
晶圆薄膜厚度(2 张) :[Package Information]Tab 标签页 - [Wafer Sheet Thickness] ×2
不带扩晶环时
元件高度 :[Shape Information]Tab 标签页 - [Body] - [Height]
晶圆转换器厚度:2.27mm (仅限需要的情形)
晶圆薄膜厚度(1 枚) :[Package Information]Tab 标签页 - [Wafer Sheet Thickness]
关于是否需要晶圆转换器,通过 Job 中的下列项目进行判断。
晶圆箱尺寸:[Machine Configuration] - [Module] - [Magazine Wafer Frame Size]
晶圆环尺寸:[Package Information]Tab 标签页 - [Wafer Frame Size]
晶圆尺寸:[Shape Process]Tab 标签页 - [Die] - [Wafer Size]
料盘元件
料盘厚度是指下列厚度的合计。
[Package Information]Tab 标签页 - [Tray Thickness]
料盘转换器厚度:4.42mm </remedy>
<img>NXT\EN\WaferThickness.gif</img>
</code>
<code id="8000AB3C">
<disp>LCR 检查未实施警告</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>LCR 检查对象元件存在,不过,
因为在本模组上设定为不实施 LCR 检查,
所以不实施 LCR 检查。( 补充编码 即使输出了本信息时,也可以转送 JOB。
但是,在相应模组上不实施 LCR 检查。)</cause>
<remedy>为了实施 LCR 检查,请在 Machine Configuration.Modules LCR Unit 中指定为
"Yes"。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000AB3D">
<disp>是不能进行元件表面识别的工作头。</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在使用元件表面识别元件的模组上,指定了不能进行元件表面识别的工作头。
( 补充编码 )</cause>
<remedy>请确认以下的 Job 设定。
・Machine Configuration.Modules の Head Type
元件表面识别可能的工作头请参照手册。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000AB3E">
<disp>是不能进行元件供应方向确认的工作头。</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>在使用元件供应方向确认的元件的模组上,指定了不可能确认元件供应方向的工
作头。( 补充编码 )</cause>
<remedy>请确认以下的 Job 设定。
・Machine Configuration.Modules の Head Type
可以确认元件供应方向的工作头请参照手册。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000AB3F">
<disp>双模组生产中 LF 定位点集约读取功能有效。</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT:双模组生产中 LF 定位点集约读取功能有效。( 补充编码 )</cause>
<remedy>NXT:双模组生产中 LF 定位点集约读取功能不能使用。1.请把 LF 定位点集约读
取功能 OFF。1.请再次优化。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000AB40">
<disp>不能废弃到 NG 元件排出单元</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>元件尺寸的短边大于 74mm 的元件不能废弃到 NG 元件排出单元。( 补充编
码 )</cause>
<remedy>请将元件废弃位置设定在 NG 元件排出单元之外。
(Shape Data - Shape Process - Process - Dump Position)</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000AB41">