Fuji errorcode - 第2676页

<disp> 这是无法用于 2 英寸对应模组的工作头 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>2 英寸对应模组 ( 即 [Supp orted Part Height] 项目 ([Machine C onfigurati on]-[Modules]- [Supported Part Height]) 的设置为“ 2inch ”的模组 ) 只支持“…

件的吸取修正量的绝对值改小。方法 3 请先用 Job 编制器打开对象 Job，通过移动供料器

布局更改贴装分配，使工作头可以贴装所支持的元件。元件尺寸可以通过 Shape Data－

Shape Information－Lead Tab 标签页的 Element Information 进行确认。吸取修正量可以通

过 Shape Data－Shape Process－Process 标签页的 Pick 的 Offset X 以及 Offset Y 的值进行确

认。完成修正后请重新传送 Job。

</remedy>

<img>NXT\EN\HeadCombinationPartsSizeCheck_CH.gif </img>

</code>

<disp>2 英寸对应模组的类型异常</disp>

<cause>只有 M6-3 模组才是 2 英寸对应模组。(补充编码)</cause>

<remedy>请先用 Job 编制器打开对象(Job)，然后再确认[Module Type]项目([Machine

Configuration]-[Modules]-[Module Type])的设置是否正确。</remedy>

<img />

</code>

<disp>这是无法用于 2 英寸对应模组的工作头</disp>

<cause>2 英寸对应模组(即[Supported Part Height]项目([Machine Configuration]-[Modules]-

[Supported Part Height])的设置为“2inch”的模组)只支持“OF”工作头。(补充编码)</cause>

<remedy>请先用 Job 编制器打开对象(Job)，然后再将[Head Type]项目([Machine

Configuration]-[Modules]-[Head Type])设置为“OF”。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>这是无法用于 2 英寸对应模组的料站</disp>

<cause>2 英寸对应模组(即[Supported Part Height]项目([Machine Configuration]-[Modules]-

[Supported Part Height])的设置为“2inch”的模组)只支持“TULT2”这种料站。(补充编

码)</cause>

<remedy>请先用 Job 编制器打开对象(Job)，然后再将[Stage Type]项目([Machine

Configuration]-[Modules]-[Stage Type])设置为“TULT2”。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>无法对料盘元件使用低角度照明的料站类型。</disp>

<cause>AIMEX：无法对料盘元件使用低角度照明的料站类型。( 补充编码子错误编码

1_TVR 吸取功能 2_TVR 供应方向确认功能 )</cause>

<remedy>AIMEX：请变更为对应低角度照明的料盘单元-LTW/LTW2。</remedy>

<img />

</code>

<disp>使用 TVR 吸取功能时无法使用低角度照明的吸取修正值，TVR 位置。</disp>

<cause>AIMEX：吸取修正值和 TVR 位置的差超过 46mm 的料盘元件不能在使用 TVR 吸取

功能的情况下使用低角度照明。( 补充编码 )</cause>

<remedy>AIMEX：请修正吸取修正、TVR 位置。</remedy>

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</code>

<disp>[Custom retainer thickness]设置异常</disp>

<cause>NXT：Machine Configuration.General 数据值异常：Custom Retainer Thickness(补充

编码请先用 Job 编制器打开对象 Job，然后再确认[Custom retainer thickness]项目

([MachineConfigration] - [General]Tab 标签页 - [Custom retainer thickness])的设置是否正确。

如果设置有误，则请修改设定值并重新传输 Job。)</cause>

<remedy>NXT：Job 内的[Custom retainer thickness]项目尚未设置。或者设定值超出了公

差范围。

公差范围：0.0~6.0</remedy>

<img />

</code>

<disp>料盘箱内的站位上装有无法用于生产的晶圆。</disp>

<cause>NXT-H：安装在晶圆箱内的晶圆尺寸超出了晶圆箱的对应范围。(补充编

码)</cause>

<remedy>NXT-H：请确认对象 Job 的下列设置。如果设置有误，则请手工修改并重新传

送 Job。

晶圆箱尺寸：[生产程序一览]-[对象模型]-[对象生产线]-[设置]-[Module]-[Magazine Wafer

Frame Size]

晶圆环尺寸：[Package] - [基本设定步骤] - [基本设定] - [Wafer Frame Size]</remedy>

<img />

</code>