Fuji errorcode - 第2678页
<code id="8 000ABC0"> <disp> 低角 度照明构成 异常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause> 使用了 指定的单元构成 无法支持的照 明模式。 ( 补充编码 )</cause > <remedy >NXT: 指定的照明模式不能使 用。 ・ Shape Data-Shap…
<cause>AIMEX:吸取修正值和 TVR 位置的差超过 46mm 的料盘元件不能在使用 TVR 吸取
功能的情况下使用低角度照明。( 补充编码 )</cause>
<remedy>AIMEX:请修正吸取修正、TVR 位置。</remedy>
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</code>
<code id="8000ABBE">
<disp>[Custom retainer thickness]设置异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT:Machine Configuration.General 数据值异常:Custom Retainer Thickness(补充
编码 请先用 Job 编制器打开对象 Job,然后再确认[Custom retainer thickness]项目
([MachineConfigration] - [General]Tab 标签页 - [Custom retainer thickness])的设置是否正确。
如果设置有误,则请修改设定值并重新传输 Job。)</cause>
<remedy>NXT:Job 内的[Custom retainer thickness]项目尚未设置。或者设定值超出了公
差范围。
公差范围:0.0~6.0</remedy>
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</code>
<code id="8000ABBF">
<disp>料盘箱内的站位上装有无法用于生产的晶圆。</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT-H:安装在晶圆箱内的晶圆尺寸超出了晶圆箱的对应范围。(补充编
码)</cause>
<remedy>NXT-H:请确认对象 Job 的下列设置。如果设置有误,则请手工修改并重新传
送 Job。
晶圆箱尺寸:[生产程序一览]-[对象模型]-[对象生产线]-[设置]-[Module]-[Magazine Wafer
Frame Size]
晶圆环尺寸:[Package] - [基本设定步骤] - [基本设定] - [Wafer Frame Size]</remedy>
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</code>
<code id="8000ABC0">
<disp>低角度照明构成异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>使用了指定的单元构成无法支持的照明模式。(补充编码)</cause>
<remedy>NXT:
指定的照明模式不能使用。
・Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Color
・Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Pattern
请先确认上述项目,然后再优化并重新传送 Job。
AIMEX:
由于未配置低角度照明,所以无法使用指定的照射模式。
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light1]
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light2]
・Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Color
・Shape Data-Shape Process-Top View Recognition-Check Direction-Lighting Pattern
请先确认上述项目,然后再优化并重新传送 Job。</remedy>
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</code>
<code id="8000ABC1">
<disp>下压量设定值异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXTR:将软支撑销夹紧动作设定中的下压动作设置为“YES”时,无法使用硬支撑
销。(补充编码)</cause>
<remedy>NXTR:请将下压动作设置为“NO”或改成只使用软支撑销的 Job,然后再重新传
送 Job。</remedy>
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</code>
<code id="8000ABC2">
<disp>低角度照明构成异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>AIMEX:这是指定的单元构成无法支持的照射模式。(补充编码)</cause>
<remedy>AIMEX:由于未配置低角度照明,所以无法使用指定的照射模式。
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light1]
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light2]
・[Part Data] - [Top View Recognition] - [Pick Up Using TVR] - [Lighting Color]
・[Part Data] - [Top View Recognition] - [Pick Up Using TVR] - [Lighting Pattern]
请先确认上述项目,然后再优化并重新传送 Job。</remedy>
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</code>
<code id="8000ABC3">
<disp>低角度照明构成异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>AIMEX:这是指定的单元构成无法支持的照射模式。(补充编码)</cause>
<remedy>AIMEX:由于未配置低角度照明,所以无法使用指定的照射模式。
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light1]
・[MachineConfigration] - [Modules] - [Low angle light2]
・[Part Data] - [Top View Recognition] - [Check Direction] - [Lighting Color]
・[Part Data] - [Top View Recognition] - [Check Direction] - [Lighting Pattern]
请先确认上述项目,然后再优化并重新传送 Job。</remedy>
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</code>
<code id="8000ABC4">