Fuji errorcode - 第3457页

<img /> </code> <code id="8 000F161"> <disp> 发生控制器错误 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause> 发生了控制器错误。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >(1) ：请解除异常，重新开始。 (2) ：使…

<disp>滑动转矩设定文件周期次数范围错误</disp>

<cause>滑动转矩设定文件中所设定的周期次数不是正确的数值。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请将滑动转矩设定文件的周期次数设定为正确的数值。</remedy>

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</code>

<disp>滑动转矩设定文件增益号码范围错误</disp>

<cause>滑动转矩设定文件中所设定的前进路线或返回路线的增益号码不是正确的数值。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>请将滑动转矩设定文件的前进路线或返回路线的增益号码设定为正确的数值。

</remedy>

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<disp>滑动转矩设定文件动作计时范围错误</disp>

<cause>滑动转矩设定文件中所设定的动作计时不是正确的数值。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请将滑动转矩设定文件的动作计时设定为正确的数值。</remedy>

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<cause>发生了警报。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)：请解除异常，重新开始。

(2)：使用(1)的方法不能解除异常时，请收集发生错误时的跟踪数据。</remedy>

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<disp>发生控制器错误</disp>

<cause>发生了控制器错误。( 补充编码 )</cause>

<remedy>(1)：请解除异常，重新开始。

(2)：使用(1)的方法不能解除异常时，请收集发生错误时的跟踪数据。</remedy>

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<disp>TZ 轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：TZ 轴伺服器没有 Wake。(补充编码)</cause>

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<disp>TZ 轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：在 TZ 轴错误复位之前实行了 Dam 系列的指令 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>等待 TZ 轴动作一致超时(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：等待 TZ 轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>数据变量未贴装(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：TZ 轴参照数据实行动作的 Dam 系列的指令时，不能参照数据( 补充编

码 )</cause>

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<disp>TZ 轴错误(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

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<disp>不能发表 Dam(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：有关 TZ 轴不能发表 Dam ( 补充编码 )</cause>

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