Fuji errorcode - 第3459页

<code id="8 000F207"> <disp> 料盘高度测定失败 ( 晶圆供料装置 )< /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：测定数据有问题 ( 补充编码 )< /cause> <remedy /> <img /> </code> &l…

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<disp>数据变量未贴装(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：TZ 轴参照数据实行动作的 Dam 系列的指令时，不能参照数据( 补充编

码 )</cause>

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<disp>TZ 轴错误(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

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<disp>不能发表 Dam(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：有关 TZ 轴不能发表 Dam ( 补充编码 )</cause>

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<disp>料盘高度测定失败(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：测定数据有问题 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>增益切换失败(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：TZ 轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>有可能干涉(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：TZ 轴有干涉的可能 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>矫正推杆前进异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：矫正推杆前进失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>矫正推杆后退异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：矫正推杆后退失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>料盘箱夹紧异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱的夹紧失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>料盘箱松开异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱的松开失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>供料托架收存异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：收存位置没有供料托架。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认供料托架是否在收存位置。请从料盘箱确认晶圆•料盘等是否

露出。</remedy>

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