Fuji errorcode - 第3461页

</code> <code id="8 000F255"> <disp> 料盘箱晶圆落下防止挡块异常 ( 晶圆供料装置 )</disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：检测出料盘箱晶圆落下防止挡块的异常。 ( 补充编码 ) </cau se> <remedy >…

<disp>矫正推杆后退异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：矫正推杆后退失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>料盘箱夹紧异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱的夹紧失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>料盘箱松开异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱的松开失败了。(补充编码)</cause>

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<disp>供料托架收存异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：收存位置没有供料托架。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认供料托架是否在收存位置。请从料盘箱确认晶圆•料盘等是否

露出。</remedy>

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<disp>料盘箱晶圆落下防止挡块异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：检测出料盘箱晶圆落下防止挡块的异常。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认料盘箱晶圆落下防止挡块的状态。</remedy>

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<disp>料盘箱最大料槽数识别异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱最大料槽数确认传感器可能没有正确识别出是安装了 25 料槽

的料盘箱还是 13 料槽的料盘箱。( 补充编码这个错误在用元件高度测定传感器识别的料

盘箱的最大料槽数不一致时发生。)</cause>

<remedy>MWU12i：（１）料盘箱在补充位置上时请确认以下传感器的输入状态。

・晶圆供料装置的远程 I/O 输入的销号码 NX018

→OFF 状态:25 料槽料盘箱

→ON 状态:与 13 料槽料盘箱

实际的料盘箱的最大料槽数不一致时，请确认传感器的安装状态或者料盘箱的安装状态。

（２）１．中无异常时，供料托架的高度测定传感器检测到料盘箱的顶部板有异常，因此

请进行以下确认。

・是否使用了没有顶部板的料盘箱？

・料盘箱门内侧粘贴的反射贴纸上是否有污垢或脱落？

如果以上项目无异常，需要调整和更换供料托架高度测定传感器。</remedy>

<img>NXT\EN\Magazine25SlotCheckSensor.gif</img>

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<disp>晶圆挡块前进异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块前进时失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00A：晶圆挡块前进端=ON

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块前进=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

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<disp>晶圆挡块后退异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块后退失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF