Fuji errorcode - 第3462页

<code id="8 000F257"> <disp> 晶圆挡块前进异常（晶圆供应设备） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆挡块前进时失败了。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ： (1) ：请确认是否以正常气压供应晶圆…

</code>

<disp>料盘箱晶圆落下防止挡块异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：检测出料盘箱晶圆落下防止挡块的异常。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认料盘箱晶圆落下防止挡块的状态。</remedy>

<img />

</code>

<disp>料盘箱最大料槽数识别异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱最大料槽数确认传感器可能没有正确识别出是安装了 25 料槽

的料盘箱还是 13 料槽的料盘箱。( 补充编码这个错误在用元件高度测定传感器识别的料

盘箱的最大料槽数不一致时发生。)</cause>

<remedy>MWU12i：（１）料盘箱在补充位置上时请确认以下传感器的输入状态。

・晶圆供料装置的远程 I/O 输入的销号码 NX018

→OFF 状态:25 料槽料盘箱

→ON 状态:与 13 料槽料盘箱

实际的料盘箱的最大料槽数不一致时，请确认传感器的安装状态或者料盘箱的安装状态。

（２）１．中无异常时，供料托架的高度测定传感器检测到料盘箱的顶部板有异常，因此

请进行以下确认。

・是否使用了没有顶部板的料盘箱？

・料盘箱门内侧粘贴的反射贴纸上是否有污垢或脱落？

如果以上项目无异常，需要调整和更换供料托架高度测定传感器。</remedy>

<img>NXT\EN\Magazine25SlotCheckSensor.gif</img>

</code>

<disp>晶圆挡块前进异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块前进时失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00A：晶圆挡块前进端=ON

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块前进=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆挡块后退异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块后退失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00A：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>料箱灯罩监控开始异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩无法受光。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认灯罩的传感器部分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003

投光状态：DX003 设置为 ON

请按照以下顺序进行确认。

1.请确认是否有遮光物。

2.有可能因受外部光线的干扰而无法受光。请确认传感器部分。

3.有可能是传感器的调试不良。请调试投光与受光位置。

4.未投光时，有可能是传感器发生故请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本

公司客服中心联系障。</remedy>

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</code>

<disp>料箱灯罩监控停止异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩监视无法停止。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为有可能是受到外部光线的干扰，所以请确认灯罩的传感器部

分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003