Fuji errorcode - 第3463页

输入 NX00A ：晶圆挡块后退 =ON 有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。 (3) ：如果执行 1 、 2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需要对其进行调试或更换。 </rem edy> <img /> </code> <code id="8 000F259"> <disp> 料箱灯罩监控开始异常（…

<disp>晶圆挡块前进异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块前进时失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00A：晶圆挡块前进端=ON

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块前进=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆挡块后退异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆挡块后退失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆挡块的前进-后退操作并确认挡块是否正常动作。

后退时输出 NY016：晶圆挡块后退=ON

输出 NY014：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00B：晶圆挡块后退=ON

前进时输出 NY014：晶圆挡块前进=ON

输出 NY016：晶圆挡块后退=OFF

输入 NX00A：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>料箱灯罩监控开始异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩无法受光。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认灯罩的传感器部分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003

投光状态：DX003 设置为 ON

请按照以下顺序进行确认。

1.请确认是否有遮光物。

2.有可能因受外部光线的干扰而无法受光。请确认传感器部分。

3.有可能是传感器的调试不良。请调试投光与受光位置。

4.未投光时，有可能是传感器发生故请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本

公司客服中心联系障。</remedy>

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</code>

<disp>料箱灯罩监控停止异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩监视无法停止。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为有可能是受到外部光线的干扰，所以请确认灯罩的传感器部

分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003

投光停止状态：DX003 设置为 OFF

既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误

时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。</remedy>

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</code>

<disp>无料盘箱异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：没有安装料盘箱。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：１．请安装料盘箱，重新开始生产。2.在 1 不能异常恢复时，维修

保养人员以上的作业者请确认料盘箱。</remedy>

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</code>

<disp>料盘箱落座 OFF(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱在升降动作中脱落了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请安装晶圆供料装置的料盘箱。</remedy>

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</code>

<disp>料盘箱适配器异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认

(NX01C)OFF 时发生。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。</remedy>

<img />

</code>