Fuji errorcode - 第3464页

投光停止状态： DX 003 设置为 OFF 既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F290"> <disp> 无料盘箱异常 ( 晶圆供料装置 )</di…

输入 NX00A：晶圆挡块后退=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

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</code>

<disp>料箱灯罩监控开始异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩无法受光。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认灯罩的传感器部分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003

投光状态：DX003 设置为 ON

请按照以下顺序进行确认。

1.请确认是否有遮光物。

2.有可能因受外部光线的干扰而无法受光。请确认传感器部分。

3.有可能是传感器的调试不良。请调试投光与受光位置。

4.未投光时，有可能是传感器发生故请收集发生错误时的机器跟踪数据和操作步骤，与本

公司客服中心联系障。</remedy>

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<disp>料箱灯罩监控停止异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：料箱内部的用于安全监控的灯罩监视无法停止。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为有可能是受到外部光线的干扰，所以请确认灯罩的传感器部

分。

・CPU I/O 输入的 Pin 号码 DX003

投光停止状态：DX003 设置为 OFF

既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误

时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。</remedy>

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</code>

<disp>无料盘箱异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：没有安装料盘箱。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：１．请安装料盘箱，重新开始生产。2.在 1 不能异常恢复时，维修

保养人员以上的作业者请确认料盘箱。</remedy>

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<disp>料盘箱落座 OFF(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱在升降动作中脱落了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请安装晶圆供料装置的料盘箱。</remedy>

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<disp>料盘箱适配器异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认

(NX01C)OFF 时发生。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。</remedy>

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<disp>无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。( 补充编码子码是需要清除的料

槽的编号。)</cause>

<remedy>NXT：１．请按紧急停止按钮后打开晶圆供应装置的料盘箱门。２．请从料盘

箱中取出问题晶圆或料盘后再重新开始。

</remedy>

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<disp>变更晶圆或者料盘收存处料槽(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为本来的料槽没有空，拉出的晶圆或者料盘收存在别的料槽了。

( 补充编码子码是除去对象的料槽号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：１．请按下紧急停止，打开晶圆供料装置的料盘箱门。２．请从料

盘箱除去对象的晶圆或者料盘，重新开始。３．请在补充画面，与 Job 的设定一致，重新

设定晶圆或者料盘。</remedy>

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<disp>料盘箱松开状态(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为料盘箱没有锁定，所以不能开始运转。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供料装置的料盘箱门，进行料盘箱底面前的锁定后固定

料盘箱。锁定时请确认传感器的状态[NX01D]。</remedy>

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<disp>晶圆适配器识别异常(晶圆供料装置)</disp>