Fuji errorcode - 第3465页

<disp> 无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT ：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。 ( 补充编码子码是需要清除的料槽的编号。 )</cause > <remedy >NXT ：１．请按紧急停止按钮后打开晶圆供应装置的料盘箱门。２．请从料盘箱中取…

投光停止状态：DX003 设置为 OFF

既没有投光而且上述传感器状态也不一致时，有可能是传感器发生故障，请收集发生错误

时的机器跟踪数据和操作步骤，与本公司客服中心联系障。</remedy>

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<disp>无料盘箱异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：没有安装料盘箱。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：１．请安装料盘箱，重新开始生产。2.在 1 不能异常恢复时，维修

保养人员以上的作业者请确认料盘箱。</remedy>

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<disp>料盘箱落座 OFF(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：料盘箱在升降动作中脱落了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请安装晶圆供料装置的料盘箱。</remedy>

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<disp>料盘箱适配器异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料装置的料盘箱适配器脱落了。有料盘箱适配器的确认

(NX01C)OFF 时发生。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请切断电源，安装晶圆供料装置的料盘箱适配器。</remedy>

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<disp>无法存放晶圆或料盘（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：该料槽无法存放当前拉出的晶圆或料盘。( 补充编码子码是需要清除的料

槽的编号。)</cause>

<remedy>NXT：１．请按紧急停止按钮后打开晶圆供应装置的料盘箱门。２．请从料盘

箱中取出问题晶圆或料盘后再重新开始。

</remedy>

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<disp>变更晶圆或者料盘收存处料槽(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为本来的料槽没有空，拉出的晶圆或者料盘收存在别的料槽了。

( 补充编码子码是除去对象的料槽号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：１．请按下紧急停止，打开晶圆供料装置的料盘箱门。２．请从料

盘箱除去对象的晶圆或者料盘，重新开始。３．请在补充画面，与 Job 的设定一致，重新

设定晶圆或者料盘。</remedy>

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<disp>料盘箱松开状态(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为料盘箱没有锁定，所以不能开始运转。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供料装置的料盘箱门，进行料盘箱底面前的锁定后固定

料盘箱。锁定时请确认传感器的状态[NX01D]。</remedy>

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<disp>晶圆适配器识别异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：识别了没有登录的晶圆适配器。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认在晶圆适配器的适配器识别块上是否有脏或者破损。接连不

能识别时，请更换晶圆适配器。</remedy>

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<disp>不能收存拉出晶圆或者料盘托架(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为料盘箱与晶圆或者料盘托架拉出时不同，所以不能收纳拉出中的

晶圆或者料盘托架到料盘箱中。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：打开机器本体的正面门，请用手确实除去拉出中的晶圆或者料盘托

架。</remedy>

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<disp>料盘箱转接器识别异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i:搭载了不能识别的料盘箱转接器。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i:(1):请切断电源，暂时拆除料盘箱，重新安装料盘箱转接器。请安装

在传感器作出反应的位置上。(2):请确认接通电源后，设定的料盘箱转接器和 IO 的状态一

致。FUJI 制 12·8 英寸通用料盘箱转接器的时候输入 NY014:确认料盘箱转接器种类 1=OFF

输入 NY015:确认料盘箱转接器种类 2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类 3=OFF 是

FUJI 制 8·6 英寸通用料盘箱转接器的时候输入 NY014：确认料盘箱转接器种类 1=ON 输入

NY015:确认料盘箱转接器种类 2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类 3=OFF (3):料盘箱

转接器和 IO 的 ON/OFF 状态不相符时，请确认是否夹住异物、传感器是否有故障。

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<disp>不能收存晶圆或料盘的托架</disp>