Fuji errorcode - 第3467页

<cause>M WU12i ：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。请继续运转机器。 < /remedy> <img /…

<cause>MWU12i：识别了没有登录的晶圆适配器。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认在晶圆适配器的适配器识别块上是否有脏或者破损。接连不

能识别时，请更换晶圆适配器。</remedy>

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<disp>不能收存拉出晶圆或者料盘托架(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：因为料盘箱与晶圆或者料盘托架拉出时不同，所以不能收纳拉出中的

晶圆或者料盘托架到料盘箱中。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：打开机器本体的正面门，请用手确实除去拉出中的晶圆或者料盘托

架。</remedy>

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<disp>料盘箱转接器识别异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i:搭载了不能识别的料盘箱转接器。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i:(1):请切断电源，暂时拆除料盘箱，重新安装料盘箱转接器。请安装

在传感器作出反应的位置上。(2):请确认接通电源后，设定的料盘箱转接器和 IO 的状态一

致。FUJI 制 12·8 英寸通用料盘箱转接器的时候输入 NY014:确认料盘箱转接器种类 1=OFF

输入 NY015:确认料盘箱转接器种类 2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类 3=OFF 是

FUJI 制 8·6 英寸通用料盘箱转接器的时候输入 NY014：确认料盘箱转接器种类 1=ON 输入

NY015:确认料盘箱转接器种类 2=OFF 输入 NX016:确认料盘箱转接器种类 3=OFF (3):料盘箱

转接器和 IO 的 ON/OFF 状态不相符时，请确认是否夹住异物、传感器是否有故障。

</remedy>

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<disp>不能收存晶圆或料盘的托架</disp>

<cause>MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。

取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。

请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。

请继续运转机器。</remedy>

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<disp>晶圆 stopper 动作异常</disp>

<cause>MWU12i：晶圆 stopper 既不在前进端也不在后退端。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：晶圆 stopper 既不在前进端也不在后退端。1) 如果晶圆被拉出到了

输送平台上，则请先按下紧急停止按钮并打开正面门，然后再取出晶圆。2) 请确认气压是

否正常。3)请使用 EquipmentCheck 并通过下列 I/O 使晶圆 stopper 前进或后退并确认动作

是否正常。前进时输出 NY014：晶圆 stopper 前进=ON 输出 NY016：晶圆 stopper 后退

=OFF 输入 NX00A：晶圆 stopper 前进端=ON 后退时输出 NY016：晶圆 stopper 后退=ON 输

出 NY014：晶圆 stopper 前进=OFF 输入 NX00B：晶圆 stopper 后退=ON 如果气缸驱动部位

有异物，可能会发生卡死现象。4)如果采取 1、2 这两种措施后异常还是无法消除，则有

可能是传感器有异常或气缸发生了故障。请根据情况进行调整或更换。

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<disp>PX 轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：PX 轴伺服器没有 Wake。(补充编码)</cause>

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<disp>PX 轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：在 PX 轴错误复位之前实行了 Dam 系列的指令 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>等待 PX 轴动作一致超时(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：等待 PX 轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>数据变量未贴装(晶圆供料装置)</disp>