Fuji errorcode - 第3480页
</code> <code id="8 000F361"> <disp> 在晶 圆工作头的 吸嘴头 2 上,从吸取元件 的状态到停止真空破坏 的时间出现 延迟 得异常(晶圆供料机) </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code&…
<disp>有可能干涉(晶圆供料装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F350">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 1 上,从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F351">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 1 上,从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F360">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 2 上,从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F361">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 2 上,从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F370">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 3 上,从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F371">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 3 上,从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F380">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 4 上,从吸取元件的状态到开始真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F381">
<disp>在晶圆工作头的吸嘴头 4 上,从吸取元件的状态到停止真空破坏的时间出现延迟
得异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A0">
<disp>翻转交付位置动作异常(晶圆供应装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:翻转交付位置的动作失败了。( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A1">
<disp>翻转吸取位置异常(晶圆供应装置)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:翻转吸取位置的动作失败了。( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F3A2">
<disp>晶圆拉出夹紧异常(晶圆供应装置)</disp>