Fuji errorcode - 第3485页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：没有吸嘴的规格数据。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 </remedy> <img /> </code…

(2)：利用以下的信号向晶圆抽取家下达上升指令，然后检测抽取家是否一直保持在上升

端。

输出 NY02A：上升=ON

输出 NY02B：下降=OFF

输出 NX026：检测出晶圆抽取夹在上升端=ON

(3)：如果晶圆抽取夹不在上升端，则有可能是抽取夹的传感器发生异常或者汽缸发生故

障，因此需要调试或更换相关部件。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有合适的吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：用于排出吸嘴的空存放格不足。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有吸嘴的规格数据。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新打开机器的电源。２．如果通过步骤１仍然无法消除异

常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>吸嘴切换干涉确认异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴切换动作时有可能发生干涉，所以停止了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>吸嘴头１的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头２的吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头３吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头３的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头４吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头４的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头１的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

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</code>