Fuji errorcode - 第3488页

</remedy> <img /> </code> <code id="8 000F40D"> <disp> 吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。 ( 补充编码的子码显示为安装处的存放 …

<disp>吸嘴头２的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头３吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头３的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头４的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头４的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头２的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头３的吸嘴脱落（供应晶圆机器）</disp>

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头３的吸嘴滑落。( 补充编码的子码显示为安装处的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 4 的吸嘴脱落（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头 4 的吸嘴脱落了。( 补充编码的子码显示为原来的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 1 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 1 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 2 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 2 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 3 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 3 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>