Fuji errorcode - 第3489页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：有可能是吸嘴头 4 的吸嘴脱落了。 ( 补充编码的子码显示为原来的存放格号码。 )</cause > <remedy >MWU12i ：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。 </re medy> <img /> </code> <code id=&quot…

</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头２的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头３的吸嘴脱落（供应晶圆机器）</disp>

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头３的吸嘴滑落。( 补充编码的子码显示为安装处的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 4 的吸嘴脱落（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头 4 的吸嘴脱落了。( 补充编码的子码显示为原来的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回原来的存放格中。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 1 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 1 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 2 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 2 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 3 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 3 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴头 4 安装了不明吸嘴（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在吸嘴头 4 上安装了不明吸嘴。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请拆除对象吸嘴头上的吸嘴。</remedy>

<img />

</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在装有可用吸嘴的吸嘴头。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请重新按下开始按钮。２．在执行１的操作后仍然不能解除异

常时，请重新开通电源。３．如果执行了１，２的操作后仍然不能恢复正常，请收集发生

错误时跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>自我诊断异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：由于正在吸取元件，因此无法切换到自我诊断模式。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请先实行维修保养指令-更换吸嘴，再废弃元件，然后重新切换到自

我诊断模式。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴返回异常（晶圆供料机）</disp>