Fuji errorcode - 第3492页

</code> <code id="8 000F419"> <disp> 晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU…

<cause>MWU12i：吸嘴置放台已满吸嘴无法返回。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请取出不使用吸嘴置放台的吸嘴。</remedy>

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<disp>元件带回检测（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：检测出元件带回的现象。( 补充编码的子码代表对象吸嘴头的号码。1:

吸嘴头 1 2:吸嘴头 2 3:吸嘴头 1+吸嘴头 2 4:吸嘴头 3 5:吸嘴头 1+吸嘴头 3 6:吸嘴头 2+吸嘴

头 3 7:吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 3 8:吸嘴头 4 9:吸嘴头 1+吸嘴头 4 A:吸嘴头 2+吸嘴头 4 B:

吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 4 C:吸嘴头 3+吸嘴头 4 D:吸嘴头 1+吸嘴头 3+吸嘴头 4 E:吸嘴头

2+吸嘴头 3+吸嘴头 4 F:吸嘴头 1+吸嘴头 2+吸嘴头 3+吸嘴头 4 )

</cause>

<remedy>MWU12i：晶圆工作头内有剩余的元件时，请取出元件。没有剩余元件时，请

检查晶圆工作头的吸嘴是否阻塞。发现问题时请进行调整或更换。</remedy>

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PR 轴与 PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PR 轴、PZ2 轴的退至安全位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PZ2 轴的退避位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ 晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：PZ1 轴、PZ2 轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位

置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>