Fuji errorcode - 第3493页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。 ( 补充编码 )</cause> <remedy>M WU12i ：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 < /remedy> <img /> </code> <c…

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

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<disp>晶圆工作头干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PR 轴与 PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PR 轴、PZ2 轴的退至安全位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PZ2 轴的退避位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ 晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：PZ1 轴、PZ2 轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位

置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ 晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：PZ1 轴、PZ2 轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PR 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PR 轴的退避位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端（NX04B）是否为打开状态。

２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。

</remedy>

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