Fuji errorcode - 第3494页

<img /> </code> <code id="8 000F420"> <disp>PZ 晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机） </dis p> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ： PZ1 轴、 PZ2 轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。 ( 补充编码 )</cause> …

<cause>MWU12i：晶圆工作头与吸嘴更换器之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PR 轴与 PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PR 轴、PZ2 轴的退至安全位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ2 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PZ2 轴的退避位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ 晶圆平台旋转中心定位点干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：PZ1 轴、PZ2 轴与晶圆平台旋转中心测定定位点之间存在易干扰的位

置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>PZ 晶圆夹紧干扰异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：PZ1 轴、PZ2 轴与晶圆夹紧之间存在易干扰的位置。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>PR 轴退避位置异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：不存在 PR 轴的退避位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>吸嘴更换器滑盖关闭异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：试图在吸嘴更换器的滑盖关闭的状态下更换吸嘴。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认吸嘴更换器滑盖的关闭端（NX04B）是否为打开状态。

２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。

</remedy>

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<disp>吸嘴更换器上升异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴更换器或者顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认吸嘴更换器下降端(NX041)或者顶起筒更换器下降端

(NX051)是否为关闭状态。２．如果通过步骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时

的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆工作头翻转判定传感器异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆工作头向上确认或者向下确认的传感器发生了异常。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认晶圆工作头向上确认(NX020)与晶圆工作台头向下确认(NX021)

是否为同时启动的状态。</remedy>

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<disp>顶起筒更换器上升异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器正在上升。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认顶起筒上升端(NX050)是否是打开状态。２．如果通过步

骤１仍然无法消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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