Fuji errorcode - 第3497页

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。 < /remedy> <img>N XT\ EN \WaferHe adUpDirecti on.gif</img> </code> <code id="8 000F427"> <disp> 吸嘴错误装填（ …

<disp>吸嘴落下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴落下异常。

吸嘴可能掉落在机器内。 ( 补充编码子错误编码的下位 4byte 上显示检测出吸嘴落下的吸

嘴头号码。

例 1）子错误编码： 0x00000001

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

（没有吸取了元件的吸嘴头）

例 2）子错误编码： 0x00000013

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

・吸嘴头３上检测出吸嘴落下

（没有吸取了元件的吸嘴头）

子错误编码的上位 4byte 上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。

例３）子错误编码： 0x00010001

・吸嘴头１上检测出吸嘴落下

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

例４）子错误编码： 0x00130001

・吸嘴头上检测出吸嘴落下

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

・吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取)

</cause>

<remedy>MWU12i：请取出落下的吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放

台。

请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放

台。

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码

时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>吸嘴错误装填（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴被错误装填了。

・可能吸嘴直接被装填在晶圆工作头上。

・可能吸嘴返回时失败了。( 补充编码子错误编码的下位４byte 上显示错误装填吸嘴的吸

嘴头号码。

例 1）

子错误编码： 0x00000001

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

例 2）

子错误编码： 0x00000013

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头３上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

子错误编码的上位 4byte 上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。

例３）子错误编码： 0x00010002

・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

例４）子错误编码： 0x00130002

・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

・吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取

)</cause>

<remedy>MWU12i：请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将

吸嘴设置到吸嘴置放台。

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。

子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下的元件

并取出。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>Reference 位置偏移异常</disp>

<cause>MWU12i：可能是 Reference 的影像处理失败或是 Reference 偏移量超出公差值。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认读取 Reference 时的影像。

1）发生 Reference 影像处理异常时，用正常的定位点无法进行识别时，请修正用于识别的

数据。

・使用正确的识别数据却发生错误时，请变更 Job，使扫描范围缩到最小。

2）如果视场内没有定位点，则有可能是晶圆台上的晶圆固定位置恶化。

・在拉出晶圆时请清扫晶圆台上晶圆移动面。

・如果导致异常的原因只是定位点轻度偏移视场，请通过 Job 将扫描范围扩大到裸芯片的

50%左右。</remedy>

<img />

</code>