Fuji errorcode - 第3498页

例４）子错误编码： 0x00130002 ・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取・吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取 )</cause> <remedy >MWU12i ：请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将吸嘴设置到吸嘴置放台。取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确…

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码

时，请确认机器内是否有落下的元件并取出。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>吸嘴错误装填（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴有无确认时检测到吸嘴被错误装填了。

・可能吸嘴直接被装填在晶圆工作头上。

・可能吸嘴返回时失败了。( 补充编码子错误编码的下位４byte 上显示错误装填吸嘴的吸

嘴头号码。

例 1）

子错误编码： 0x00000001

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

例 2）

子错误编码： 0x00000013

・吸嘴头１上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头３上检测出吸嘴的错误装填

（没有吸取了元件的吸嘴头）

子错误编码的上位 4byte 上显示吸取了元件的吸嘴的吸嘴头号码。

例３）子错误编码： 0x00010002

・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

例４）子错误编码： 0x00130002

・吸嘴头２上检测出吸嘴的错误装填

・吸嘴头 1 的吸嘴进行了元件吸取

・吸嘴头３的吸嘴进行了元件吸取

)</cause>

<remedy>MWU12i：请从晶圆工作头的所有吸嘴头上取出吸嘴，按照 Job 的吸嘴安装将

吸嘴设置到吸嘴置放台。

取出的吸嘴上可能有吸取着的元件。

子错误编码上报告有吸取着元件的吸嘴的吸嘴头号码时，请确认机器内是否有落下的元件

并取出。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>Reference 位置偏移异常</disp>

<cause>MWU12i：可能是 Reference 的影像处理失败或是 Reference 偏移量超出公差值。

( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认读取 Reference 时的影像。

1）发生 Reference 影像处理异常时，用正常的定位点无法进行识别时，请修正用于识别的

数据。

・使用正确的识别数据却发生错误时，请变更 Job，使扫描范围缩到最小。

2）如果视场内没有定位点，则有可能是晶圆台上的晶圆固定位置恶化。

・在拉出晶圆时请清扫晶圆台上晶圆移动面。

・如果导致异常的原因只是定位点轻度偏移视场，请通过 Job 将扫描范围扩大到裸芯片的

50%左右。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸取位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：设置的吸取位置与实际吸取位置的差超过公差值。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的可追踪数据以及吸取时的影像数据并联系本公司的

售后服务人员。

获取追踪数据后重新指定吸取开始位置并重新启动机器。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴测定单元发现高度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为使用顶起测定单元测定吸嘴测定单元高度的结果是超过了高度公

差值，所以停止了。图 A：吸嘴测定单元图 B：顶起测定单元( 补充编码子错误编码显示

发现的异常状态。1：接触位置过高。・・・可能有异物粘附。2：接触位置过低。・・・

测定单元相互之间接触不良。测定单元的动作不良时也出现此异常。)</cause>

<remedy>MWU12i：子错误编码：1 时 1. 请确认图 A 和图 B 的测定单元的前端是否粘附

有异物。粘附有异物时请进行清扫。子错误编码：2 时 1. 请确认图 A 和图 B 的测定单元的

安装位置是否有偏移。2. 请确认图 B 的测定单元是否固定和动作不良。异物・动作没有问

题时，可能是传感器故障，请取得错误发生时的跟踪数据。动作不良时，因为可能需要更

换部件，请对图示位置拍照。请获取跟踪数据或照片并联系本公司的代理店或售后服务人

员。</remedy>

<img>NXT\EN\NzlPushupMesUnit.gif</img>

</code>

<disp>吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。

( 补充编码 )</cause>