Fuji errorcode - 第3501页

・吸嘴有问题时，请进行清扫・更换等。・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。 </rem edy> <img>N XT\ EN \WaferHe adUpDirecti on.gif</img> </code> <code id="8 000F42E"> <disp> 晶圆倾斜限制异常 ( 晶圆喂料机 )</d…

<remedy>MWU12i：因为所指定的吸取开始点位置连续出现不良裸芯片或跳过裸芯片，

最终结果有可能导致实际吸取开始点与指定的位置发生很大差异。

这种情况下，有可能是晶圆图整体发生偏移。请先进行偏移量的确认并重启设备，然后再

通过吸取开始点的指定来改变位置。

非上述情况时，请收集出错时的追踪数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸嘴长度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：检测出吸嘴的长度小于规定长度。( 补充编码子错误编码上显示检测

出异常的吸嘴头号码。

例）00000013

吸嘴头１和３上检测出异常。 )</cause>

<remedy>MWU12i：可能因为吸嘴缺损等导致长度有问题。

・请更换有问题的吸嘴。

・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>吸嘴长度异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：检测出吸嘴的长度大于规定长度。( 补充编码子错误编码上显示检测

出异常的吸嘴头号码。

例）00000013

吸嘴头１和３上检测出异常。 )</cause>

<remedy>MWU12i：可能吸嘴没有被正常安装，或者吸嘴上有污垢。

・吸嘴有问题时，请进行清扫・更换等。

・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>晶圆倾斜限制异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：通过参考定位点识别了晶圆的倾斜度。结果是倾斜度超出了限制范

围。( 补充编码在子码中会显示检测到异常的站位号。

例) 0x00000012

表示在 12 号站位上检测到了异常。)</cause>

<remedy>MWU12i：请更换晶圆或修改该晶圆的倾斜度。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：切割宽度可能偏离 Job 中的设定值。请在重新开始运转后的吸取开

始位置指定上修正位置。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>为了跳过 1 行以上的晶圆进行生产而停止了。</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象裸芯片不超过 1 行。

因越行生产可能会错误吸取所以停止了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・生产开始后将转移到吸取开始位置设置。

・请设置吸取对象裸芯片的开始点。

生产开始后不转移到吸取开始位置设置时：

・请在补充向导画面上实施晶圆更换指令后重新补充。</remedy>

<img />

</code>

<disp>因晶圆的偏移量超过公差值而停止。</disp>

<cause>MWU12i：晶圆的偏移量超出公差值，因此晶圆图表和实际元件的位置可能不

符。( 补充编码此错误在指定吸取开始位置时，晶圆图表核对模式下核对方法错误时也可

能发生。核对晶圆图表和实际元件的位置时也发生此错误时可能是晶圆的粘贴位置偏移。

此时请更换为其他晶圆。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认 Job 的元件尺寸和切割幅度是否一致。元件尺寸：[Shape

Data]-[Shape Information]-[Length(X)]/[Width(Y)] 切割幅度：[Package Data]-[Package

Information]-[X Cut Width]/[Y Cut Width] ・请确认 Multi block 元件时，Job 的 block 位置是

否一致。block 位置：[Package Data]-[Package Information]-[Pickup block position, Block ID

position] ・吸取开始位置指定时使用晶圆图表核对模式，核对晶圆图表和实际元件的位置

关系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆工作头不明吸嘴安装异常</disp>

<cause>MWU12i：检测出在晶圆工作头上安装了不能识别的吸嘴。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请手动从晶圆工作头的全部的吸嘴头上取下吸嘴。