Fuji errorcode - 第3502页

因越行生产可能会错误吸取所以停止了。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：・生产开始后将转移到吸取开始位置设置。・请设置吸取对象裸芯片的开始点。生产开始后不转移到吸取开始位置设置时：・请在补充向导画面上实施晶圆更换指令后重新补充。 < /remedy> <img /> </code> <code id=…

・吸嘴有问题时，请进行清扫・更换等。

・请取出所有吸嘴头的吸嘴，并返回到吸嘴更换器。</remedy>

<img>NXT\EN\WaferHeadUpDirection.gif</img>

</code>

<disp>晶圆倾斜限制异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：通过参考定位点识别了晶圆的倾斜度。结果是倾斜度超出了限制范

围。( 补充编码在子码中会显示检测到异常的站位号。

例) 0x00000012

表示在 12 号站位上检测到了异常。)</cause>

<remedy>MWU12i：请更换晶圆或修改该晶圆的倾斜度。</remedy>

<img />

</code>

<disp>吸取开始点指定位置偏移异常（晶圆拾取机）</disp>

<cause>MWU12i：实际的吸取开始点位置有可能与指定的吸取开始点位置发生偏移。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：切割宽度可能偏离 Job 中的设定值。请在重新开始运转后的吸取开

始位置指定上修正位置。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>为了跳过 1 行以上的晶圆进行生产而停止了。</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象裸芯片不超过 1 行。

因越行生产可能会错误吸取所以停止了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・生产开始后将转移到吸取开始位置设置。

・请设置吸取对象裸芯片的开始点。

生产开始后不转移到吸取开始位置设置时：

・请在补充向导画面上实施晶圆更换指令后重新补充。</remedy>

<img />

</code>

<disp>因晶圆的偏移量超过公差值而停止。</disp>

<cause>MWU12i：晶圆的偏移量超出公差值，因此晶圆图表和实际元件的位置可能不

符。( 补充编码此错误在指定吸取开始位置时，晶圆图表核对模式下核对方法错误时也可

能发生。核对晶圆图表和实际元件的位置时也发生此错误时可能是晶圆的粘贴位置偏移。

此时请更换为其他晶圆。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认 Job 的元件尺寸和切割幅度是否一致。元件尺寸：[Shape

Data]-[Shape Information]-[Length(X)]/[Width(Y)] 切割幅度：[Package Data]-[Package

Information]-[X Cut Width]/[Y Cut Width] ・请确认 Multi block 元件时，Job 的 block 位置是

否一致。block 位置：[Package Data]-[Package Information]-[Pickup block position, Block ID

position] ・吸取开始位置指定时使用晶圆图表核对模式，核对晶圆图表和实际元件的位置

关系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆工作头不明吸嘴安装异常</disp>

<cause>MWU12i：检测出在晶圆工作头上安装了不能识别的吸嘴。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请手动从晶圆工作头的全部的吸嘴头上取下吸嘴。

如果晶圆工作头在不能拆除吸嘴的位置，请执行[手动指令]-[Exchange]-[MWU nozzles]。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>VP 版本升级异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：VP 版本升级失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码的子码

0x00000001 表示打开 System 版本升级基文件失败 0x00000002 表示读取 System 版本升级

基文件失败 0x00000003 表示打开 Venus 版本升级基文件失败 0x00000004 表示读取 Venus

版本升级基文件失败。)

</cause>

<remedy>MWU12i：正在讨论对策。临时消息、对应方法在发行 MWU12i 时重新修正。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>影像处理晶片数据登录异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：超出可在 VA 登录的晶片数量。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请保证在用于生产晶片与用于参考晶片的总和不超过 125 的状态下

变更 Job 数据。临时消息、对应方法在发行 MWU12i 时重新修正。

</remedy>

<img />

</code>