Fuji errorcode - 第3524页
<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i :当前 不使用该错误编 码 ( 补充 编码 )</cause> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F4CE"> <disp> 晶圆 边线检出影 像处理 控制系统异常 (晶圆供料 机) </d…
<disp>晶圆夹紧二维码处理 数据异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:登录晶圆夹紧二维码失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・数
据初始化失败 ・删除数据失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4CC">
<disp>晶圆边线影像处理 控制系统异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:晶圆边线的影像处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・获
取环境数据失败・读取影像失败 ・处理影像失败 ・获取影像处理结果失败 ・显示影像处
理结果失败 关于具体信息请参考子码。 ( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4CD">
<disp>晶圆边线影像处理 数据异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4CE">
<disp>晶圆边线检出影像处理 控制系统异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:晶圆边线的影像处理失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4CF">
<disp>晶圆边线检出影像处理 数据异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4D0">
<disp>晶圆轨道二维码处理 控制系统异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:处理晶圆轨道二维码的影像失败了。・读取失败 ・处理影像失败 ・
获取结果失败 ・显示结果失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4D1">
<disp>晶圆轨道二维码处理 数据异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:登录晶圆轨道二维码失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・数
据初始化失败 ・删除数据失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4D2">
<disp>晶圆平台旋转基准定位点处理 控制系统异常(晶圆供料机)</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i:晶圆平台旋转基准定位点的处理失败了。导致异常的原因可能是下述
情况。・读取影像失败 ・处理影像失败 ・获取影像处理结果失败 ・显示影像处理结果失
败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i:请确认子码的内容。</remedy>