Fuji errorcode - 第3529页
<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：当前 不使用该错误编 码 ( 补充 编码 )</cause> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F4DC"> <disp> 分辨 率测定定位 点处理 控制系统异常 （晶圆供料 机） </d…
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4D9">
<disp>VP 版本升级 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码 ( 补充编码 )
</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4DA">
<disp>系统启动 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：VA 的初始化失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4DB">
<disp>系统启动 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4DC">
<disp>分辨率测定定位点处理 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：处理分辨率测定定位点失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・
读取影像失败 ・处理影像失败 ・获取结果失败 ・显示结果失败 关于具体内容请参考子
码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4DD">
<disp>分辨率测定定位点处理 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：登录分辨率的测定定位点失败了。具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4E2">
<disp>晶圆喂料机的 alignment mark 影像处理异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进
行影像处理时出现失败。异常可能是由以下原因所造成的。・mark 受污染。・mark 出现
变形。・影像太亮或太暗。・mark 超出扫描区域。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）
进行查看。如果受到污染，则请进行清扫。・如果影像太亮或太暗，则需要对光源进行调
节。因此，请联系售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4E3">
<disp>alignment mark 登录异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：alignment mark 登录失败。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i： 请确认子错误编码。・请重启电源。如果还是发生错误，则有可能
是 MWU 的相机出现了通信异常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4EA">
<disp>料盘接合片定位点识别错误</disp>