Fuji errorcode - 第3544页

<remedy >MWU12i ：（ 1 ）：请重按 START 按钮。（ 2 ）：用上述 (1) 的方法不能消除异常时，请重新连接电源。（ 3 ）：如果执行上述 1 、 2 之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F542"> &…

<disp>增益切换失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EZ2 轴的增益切换失败了

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>存在干涉的危险（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EZ2 轴存在干涉的危险

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>EZ2 轴伺服行程异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：现在未使用此错误编码

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴的初始化超时（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统中没有完成初始化。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：（1）：请重按 START 按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常

时，请重新连接电源。（3）：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集出错

时的追溯数据并联系本公司的售后服务。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴发生错误所以无法动作(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服错误时，发生动作指示。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴动作一致等待超时（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：伺服动作无法结束。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：（1）：请重按 START 按钮。（2）：用上述(1)的方法不能消除异常

时，请重新连接电源。（3）：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集出错

时的追溯数据并联系本公司的售后服务。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴动作用数据异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：执行伺服动作时找不到参考数据。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴错误（晶圆供料装置）</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶

起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编码为 22(译码器数据警报)时】

请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：

如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的

售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴动作无法启动（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：伺服动作无法开始。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ3 轴的增益切换失败（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：增益切换失败了。可能是参数设置错误。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

<img />