Fuji errorcode - 第3546页

</code> <code id="8 000F549"> <disp>EZ 3 轴不能避让 ( 晶圆供料装置 )</disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。 ( 补充编码 )</cause> <remedy &g…

<cause>MWU12i：执行伺服动作时找不到参考数据。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

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<disp>EZ3 轴错误（晶圆供料装置）</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。请确认顶

起筒是否被卡住。请确认顶起筒的安装状态。【伺服错误编码为 22(译码器数据警报)时】

请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认连接后重启机器并确认动作。(3)：

如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集出错时的追溯数据并联系本公司的

售后服务。</remedy>

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<disp>EZ3 轴动作无法启动（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：伺服动作无法开始。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

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<disp>EZ3 轴的增益切换失败（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：增益切换失败了。可能是参数设置错误。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

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<disp>EZ3 轴不能避让(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。(补充编

码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

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<disp>突起头(Pot)吸取用真空破坏开始延迟异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>突起头(Pot)吸取用真空破坏结束延迟异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>晶圆剥离挡板打开异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：顶起单元里填装了不明的顶起筒。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请从顶起单元中除去顶起筒。

请将除去的顶起筒返还到子错误编码的插口号码中。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：顶起单元和顶起筒更换器的排出口存放格里都没有顶起筒。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，

请将其取出。

请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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