Fuji errorcode - 第3549页

<code id="8 000F595"> <disp>EY 轴干渉异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：突起单元与 Pot 更换器处于干渉位置。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：通常不发生此错误。请获取发生…

<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：在顶起筒更换器中没有要更换的顶起筒。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，

请将其取出。

请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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</code>

<disp>Pot 切换失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 切换失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请在确认 Pot、Pot 更换器、突起单元的状态后，重新开始生

产。

２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot 更换器的确认。

</remedy>

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</code>

<disp>Pot 切换中落下（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 切换失败了。存在 Pot 落下的可能性。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 Pot 是否掉落在机器内。

掉落时，请将 Pot 设置在 Pot 更换器后，重新开始生产。

２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot 更换器的确认。

</remedy>

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</code>

<disp>EY 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与 Pot 更换器处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>EZ 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与晶圆台处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>EZ 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与晶圆处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>Pot 吸取圧力不足异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 的料带吸取圧力没有达到所需压力。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请实施以下项目。

１．顶起 Pot 的确认

・请进行顶起单元的夹紧部分底部和顶起 Pot 吸取面的检查和清扫。

・请确认 Pot 部的花纹螺丝是否松开。

・如果还是异常时请更换 Pot。

２．晶圆的确认

・使用晶圆接合片时，请确认晶圆和接合片的位置关系是否平行于垂直方向。

・请进行晶圆料带反面的检查和清扫。</remedy>

<img>NXT\EN\PotCleaningParts.gif</img>

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<disp>晶圆料带吸取异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：使用 Pot 吸取晶圆料带时，检测出过量的负压。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：MWU 内部的控制机器发生故障，进行恢复时，需要更换电子真空

调节器或者控制电路板。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>顶起筒掉落异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供应设备内的顶起筒置放台或顶起单元内填装的顶起筒有掉落。

( 补充编码・子码标示可能掉落的顶起筒的号码。

・显示为「０」，从顶起筒或顶起单元内掉落的可能性较大。)</cause>

<remedy>MWU12i：1．当顶起筒掉落时，请在补充编码号码所指定的顶起筒位置内搭载

顶起筒，然后重新开始生产。

2.顶起筒配置没有问题时，有可能是搭载时发生错位，请先取出顶起筒再重新搭载一次。