Fuji errorcode - 第3550页

１．顶起 Pot 的确认・请进行顶起单元的夹紧部分底部和顶起 Pot 吸取面的检查和清扫。・请确认 Pot 部的花纹螺丝是否松开。・如果还是异常时请更换 Pot 。２．晶圆的确认・使用晶圆接合片时，请确认晶圆和接合片的位置关系是否平行于垂直方向。・请进行晶圆料带反面的检查和清扫。 < /remedy> <img>N XT\ EN \PotCleani ngParts.gi…

<disp>EY 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与 Pot 更换器处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与晶圆台处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>EZ 轴干渉异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：突起单元与晶圆处于干渉位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>Pot 吸取圧力不足异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 的料带吸取圧力没有达到所需压力。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请实施以下项目。

１．顶起 Pot 的确认

・请进行顶起单元的夹紧部分底部和顶起 Pot 吸取面的检查和清扫。

・请确认 Pot 部的花纹螺丝是否松开。

・如果还是异常时请更换 Pot。

２．晶圆的确认

・使用晶圆接合片时，请确认晶圆和接合片的位置关系是否平行于垂直方向。

・请进行晶圆料带反面的检查和清扫。</remedy>

<img>NXT\EN\PotCleaningParts.gif</img>

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<disp>晶圆料带吸取异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：使用 Pot 吸取晶圆料带时，检测出过量的负压。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：MWU 内部的控制机器发生故障，进行恢复时，需要更换电子真空

调节器或者控制电路板。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>顶起筒掉落异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供应设备内的顶起筒置放台或顶起单元内填装的顶起筒有掉落。

( 补充编码・子码标示可能掉落的顶起筒的号码。

・显示为「０」，从顶起筒或顶起单元内掉落的可能性较大。)</cause>

<remedy>MWU12i：1．当顶起筒掉落时，请在补充编码号码所指定的顶起筒位置内搭载

顶起筒，然后重新开始生产。

2.顶起筒配置没有问题时，有可能是搭载时发生错位，请先取出顶起筒再重新搭载一次。

3.重新搭载也无法解除错误时，可能是传感器等器件发生故障。请以 MWU 的 IO 确认「顶

起筒 1～6 无确认」(NX052～NX057)以及「顶起筒有无确认」（NX05B）的反映。

</remedy>

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<disp>顶起筒更换器位置异常(晶圆供应设备)</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器放置在与顶起单元以及晶圆台发生干扰的位置。( 补充

编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请操作紧急停止按钮停止运行并将顶起单元移动到设备左侧。

使用 EquipmentCheck 降低顶起筒更换器，然后将其后退。

请将各 Pin 号码按照以下状态进行操作。

降低 NY042 顶起筒更换器上升 OFF

NY043 顶起筒更换器降低 ON

后退 NY044 顶起筒更换器前进 OFF

NY045 顶起筒更换器后退 ON</remedy>

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<disp>Pot 顶起高度测定异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：Pot 顶起高度测定值超出规定范围。( 补充编码子码代表出错原因。

x 表示 Socket 编号。

x0000001：Pot 面高度异常

x0000010：Pot 面倾斜度异常

x0000100：销高度异常