Fuji errorcode - 第3553页

・与下顶起筒夹的接触面上可能有划痕或异物。・顶起筒的套筒松动时也有可能发生此报错。 ( 补充编码子码表示收存格号码。 ) </cause> <remedy >MWU12i ：・请清扫上顶起筒夹与下顶起筒夹。・请更换顶起筒。・请检查顶起筒的套筒是否松动。 </remedy > <img>N XT\ EN \PushUpP ot_Tilt.GIF <…

x0001000：销参差不齐异常

例)

子错误编码：20000011

Socket2 号的 Pot 检测出 Pot 面高度异常，Pot 面倾斜度异常 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认 pot 是否安装正确。</remedy>

<img />

</code>

<disp>Pot 整合性确认异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为 Pot 置放台上安装了不明 Pot，所以不能进行 Pot 的排出。( 补充

编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请从子错误编码号码的 Socket 中除去 Pot。</remedy>

<img />

</code>

<disp>顶起筒的套筒松动</disp>

<cause>MWU12i：安装顶起筒后，检测出顶起筒的套筒松动。(补充编码子码表示收存

格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：请检查顶起筒的套筒是否松动。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPot_Cap.GIF </img>

</code>

<disp>顶起筒安装失败</disp>

<cause>MWU12i：安装顶起筒后，检测出顶起筒倾斜。

・上顶起筒夹或下顶起筒夹上可能有划痕或异物。

・与下顶起筒夹的接触面上可能有划痕或异物。

・顶起筒的套筒松动时也有可能发生此报错。(补充编码子码表示收存格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请清扫上顶起筒夹与下顶起筒夹。

・请更换顶起筒。

・请检查顶起筒的套筒是否松动。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPot_Tilt.GIF </img>

</code>

<disp>顶针高度异常</disp>

<cause>MWU12i：测量顶针高度时检测出顶针高度异常。

・有可能是顶针安装高度偏掉。

・有可能是顶针磨损。

・有可能是顶针影像处理时误检出异物，导致顶针的位置偏掉。

・有可能是上顶起筒夹或顶起筒接触面有刮痕、异物。(补充编码子码表示收存格号

码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请重新调整顶针的高度。

・顶针前端磨损时，需要更换顶针。

・请清扫顶起筒的上面。

・请更换顶起筒的套筒。

・请清扫下顶起筒夹或顶起筒接触面。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPin_Height.GIF </img>

</code>

<disp>顶针的高度未对齐</disp>

<cause>MWU12i：使用多根顶针时，顶针的高度未对齐。

・需要重新调整顶针。

・如果在顶针的影像处理时误检出异物，也有可能发生此报错。(补充编码子码表示收存

格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请重新调整顶针的高度。顶针前端磨损时，需要更换顶针。

・请清扫顶起筒的上面。

・请更换顶起筒的套筒。</remedy>

<img />

</code>

<disp>TY 轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴没有进行伺服 Wake。

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>未实施 TY 轴的错误复位（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴在错误复位之前，实行了 Dam 系列的指令

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>