Fuji errorcode - 第3554页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：使用多根顶针时，顶针的高度未对齐。・需要重新调整顶针。・如果在顶针的影像处理时误检出异物，也有可能发生此报错。 ( 补充编码子码表示收存格号码。 )</cause > <remedy >MWU12i ：・请重新调整顶针的高度。顶针前端磨损时，需要更换顶针。・请清扫顶起筒…

・与下顶起筒夹的接触面上可能有划痕或异物。

・顶起筒的套筒松动时也有可能发生此报错。(补充编码子码表示收存格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请清扫上顶起筒夹与下顶起筒夹。

・请更换顶起筒。

・请检查顶起筒的套筒是否松动。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPot_Tilt.GIF </img>

</code>

<disp>顶针高度异常</disp>

<cause>MWU12i：测量顶针高度时检测出顶针高度异常。

・有可能是顶针安装高度偏掉。

・有可能是顶针磨损。

・有可能是顶针影像处理时误检出异物，导致顶针的位置偏掉。

・有可能是上顶起筒夹或顶起筒接触面有刮痕、异物。(补充编码子码表示收存格号

码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请重新调整顶针的高度。

・顶针前端磨损时，需要更换顶针。

・请清扫顶起筒的上面。

・请更换顶起筒的套筒。

・请清扫下顶起筒夹或顶起筒接触面。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPin_Height.GIF </img>

</code>

<disp>顶针的高度未对齐</disp>

<cause>MWU12i：使用多根顶针时，顶针的高度未对齐。

・需要重新调整顶针。

・如果在顶针的影像处理时误检出异物，也有可能发生此报错。(补充编码子码表示收存

格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请重新调整顶针的高度。顶针前端磨损时，需要更换顶针。

・请清扫顶起筒的上面。

・请更换顶起筒的套筒。</remedy>

<img />

</code>

<disp>TY 轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴没有进行伺服 Wake。

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>未实施 TY 轴的错误复位（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴在错误复位之前，实行了 Dam 系列的指令

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>TY 轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴的伺服动作的一致等待超时了

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>未实装数据变数（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：TY 轴在参照数据并实行动作 Dam 系列的指令时，不能参照数据

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>TY 轴错误(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

<img />

</code>

<disp>不能排放 Dam（晶圆供应装置）</disp>