Fuji errorcode - 第3562页

<cause>M WU12i ： SZ 轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )</ cause> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F629"> <disp> 存在干涉的危险（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> …

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

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</code>

<disp>不能排放 Dam（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不能进行与 SZ 轴相关的 Dam 排放

( 补充编码 )</cause>

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</code>

<disp>晶圆托架·晶圆识别检测异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i:晶圆托架·晶圆的高度测定或者识别失败了。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：1．为了消除误检测，请取出在生产中不使用的晶圆托架后重新开始

运转。2.在 1.不能改善的时候，请临时取下晶圆料盘箱，再次安装后重新开始运转。由上

述对策不能解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据并与敝公司的 Support 联

系。</remedy>

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</code>

<disp>增益切换失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：SZ 轴的增益切换失败了

( 补充编码 )</cause>

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</code>

<disp>存在干涉的危险（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：SZ 轴存在干涉的危险

( 补充编码 )</cause>

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<disp>SZ 轴伺服行程异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：现在未使用此错误编码

( 补充编码 )</cause>

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</code>

<disp>晶圆夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

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</code>

<disp>晶圆放松异常（晶圆供应装置）</disp>

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</code>

<disp>晶圆 X 方向定位夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：托盘的定位夹紧或者托盘有无确认失败了。请将晶圆托盘安装在料盘

箱内后重启运转。( 补充编码晶圆拉出状态时，认为是晶圆托盘左右的料槽安装错误。请

将晶圆托盘正确可靠地返回到料盘箱后，重启运转。 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）晶圆托盘处于拉出状态时

（１-１）请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。

之后，请重启运转。

（１-２）

再次发生异常时，请使用以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作

是否正确。

汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。

（２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操

作，并确认动作是否正确。

汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。

（３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调

整或者更换。

IO 操作

进行夹紧时

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON