Fuji errorcode - 第3563页

<code id="8 000F651"> <disp> 晶圆放松异常（晶圆供应装置） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F652"> <disp…

<cause>MWU12i：SZ 轴的增益切换失败了

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>存在干涉的危险（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：SZ 轴存在干涉的危险

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>SZ 轴伺服行程异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：现在未使用此错误编码

( 补充编码 )</cause>

<img />

</code>

<disp>晶圆夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>晶圆放松异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>晶圆 X 方向定位夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：托盘的定位夹紧或者托盘有无确认失败了。请将晶圆托盘安装在料盘

箱内后重启运转。( 补充编码晶圆拉出状态时，认为是晶圆托盘左右的料槽安装错误。请

将晶圆托盘正确可靠地返回到料盘箱后，重启运转。 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）晶圆托盘处于拉出状态时

（１-１）请根据步骤向导，将晶圆托盘从料站上拉出后返回到料槽上。

之后，请重启运转。

（１-２）

再次发生异常时，请使用以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操作，并确认动作

是否正确。

汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。

（２）晶圆托盘不是拉出状态时，请使用以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向定位夹紧－松开的操

作，并确认动作是否正确。

汽缸驱动部有异物等时可能出现粘着现象。

（３）进行了以上对策后还是发生异常时，认为是传感器异常或者汽缸故障，需要进行调

整或者更换。

IO 操作

进行夹紧时

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF

输入(有晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON

输入(无晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=OFF

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=OFF

输入(有晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=ON

输入(无晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=OFF

进行松开时

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF

输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=OFF

输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(前面)=ON </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆 X 方向的定位松开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不能进行晶圆 X 方向的定位夹紧的松开。

动作时间过长时也出现此错误。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）：请确认气压供应值是否正常。

（２）：请通过以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向的定位夹紧－松开操作，确认动作是否正常。

要松开时