Fuji errorcode - 第3565页

输出 NY037 ：晶圆Ｘ方向定位松开 ( 里面 )=ON 输出 NY036 ：晶圆Ｘ方向定位夹紧 ( 里面 )=OFF 输入 NX03B ：晶圆Ｘ方向定位松开确认 ( 里面 )=ON 输出 NY035 ：晶圆Ｘ方向定位松开 ( 跟前 )=ON 输出 NY034 ：晶圆Ｘ方向定位夹紧 ( 跟前 )=OFF 输入 NX03E ：晶圆Ｘ方向定位松开确认 ( 跟前 )=ON 要夹紧时输出 NY036 ：晶圆Ｘ方向定位夹紧 …

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF

输入(有晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON

输入(无晶圆托盘) NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=OFF

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=OFF

输入(有晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=ON

输入(无晶圆托盘) NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(前面)=OFF

进行松开时

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF

输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(前面)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(前面)=OFF

输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(前面)=ON </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆 X 方向的定位松开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不能进行晶圆 X 方向的定位夹紧的松开。

动作时间过长时也出现此错误。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）：请确认气压供应值是否正常。

（２）：请通过以下的 IO 进行晶圆Ｘ方向的定位夹紧－松开操作，确认动作是否正常。

要松开时

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF

输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=OFF

输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(跟前)=ON

要夹紧时

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF

输入 NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=OFF

输入 NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(跟前)=ON

汽缸驱动部上有异物等时可能出现胶着状态。

（３）：不能通过 1,2 项解除异常时，认为可能是传感器异常或者汽缸故障，请进行调整

和更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>Q 台夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>Q 台放松异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>晶圆拉出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆的拉出失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子错误编码显示没有反映的到达端传感器。

０：左

１：右

２：双方

（１）：请在晶圆进入平台前端的状态下，确认晶圆到达端传感器的 IO 是否正常反映。

输入 NX033：晶圆到达确认（左）=ON

输入 NX035：晶圆到达确认（右）=ON

（２-１）：传感器正常反应时，请将晶圆推入料盘箱安装，直到顶住里面的挡块。

之后请重新开始运转。

（２-２）：传感器没有反应时，可考虑是传感器的异常・故障，需要进行调整・更换。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆高度测定 BKT 上升异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆高度测定传感器 BKT 未到达上升位置。( 补充编码 )</cause>