Fuji errorcode - 第3566页

<disp>Q 台放松异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F656"> <disp> 晶圆拉出异常（晶圆供应装置） </disp > &lt…

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=ON

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=OFF

输入 NX03B：晶圆Ｘ方向定位松开确认(里面)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=OFF

输入 NX03E：晶圆Ｘ方向定位松开确认(跟前)=ON

要夹紧时

输出 NY036：晶圆Ｘ方向定位夹紧(里面)=ON

输出 NY037：晶圆Ｘ方向定位松开(里面)=OFF

输入 NX03A：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(里面)=ON

输出 NY034：晶圆Ｘ方向定位夹紧(跟前)=ON

输出 NY035：晶圆Ｘ方向定位松开(跟前)=OFF

输入 NX03D：晶圆Ｘ方向定位夹紧确认(跟前)=ON

汽缸驱动部上有异物等时可能出现胶着状态。

（３）：不能通过 1,2 项解除异常时，认为可能是传感器异常或者汽缸故障，请进行调整

和更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>Q 台夹紧异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>Q 台放松异常（晶圆供应装置）</disp>

<img />

</code>

<disp>晶圆拉出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆的拉出失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子错误编码显示没有反映的到达端传感器。

０：左

１：右

２：双方

（１）：请在晶圆进入平台前端的状态下，确认晶圆到达端传感器的 IO 是否正常反映。

输入 NX033：晶圆到达确认（左）=ON

输入 NX035：晶圆到达确认（右）=ON

（２-１）：传感器正常反应时，请将晶圆推入料盘箱安装，直到顶住里面的挡块。

之后请重新开始运转。

（２-２）：传感器没有反应时，可考虑是传感器的异常・故障，需要进行调整・更换。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆高度测定 BKT 上升异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆高度测定传感器 BKT 未到达上升位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆测定 BKT 上升-下降的操作并确认动作是否正常。

上升时输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=ON

输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=OFF

输入 NX02D：晶圆高度测定 BKT 上升端确认=ON

下降时输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=ON

输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=OFF

输入 NX02E：晶圆高度测定 BKT 下降端=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆高度测定 BKT 下降异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆高度测定传感器 BKT 未达到下降位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：用以下的 IO 进行晶圆测定 BKT 下降-上升的操作并确认动作是否正常。

下降时输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=ON

输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=OFF

输入 NX02E：晶圆盖度测定 BKT 下降端=ON

上升时输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=ON

输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=OFF

输入 NX02D：晶圆高度测定 BKT 上升端确认=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。</remedy>