Fuji errorcode - 第3568页

<img /> </code> <code id="8 000F659"> <disp> 检测到料盘托架上有异物 ( 晶圆喂料机 ) </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能会出现碰撞，所以机器停机。 …

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：请以下的 IO 进行晶圆测定 BKT 上升-下降的操作并确认动作是否正常。

上升时输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=ON

输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=OFF

输入 NX02D：晶圆高度测定 BKT 上升端确认=ON

下降时输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=ON

输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=OFF

输入 NX02E：晶圆高度测定 BKT 下降端=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。 </remedy>

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</code>

<disp>晶圆高度测定 BKT 下降异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆高度测定传感器 BKT 未达到下降位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认是否以正常气压供应晶圆。

(2)：用以下的 IO 进行晶圆测定 BKT 下降-上升的操作并确认动作是否正常。

下降时输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=ON

输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=OFF

输入 NX02E：晶圆盖度测定 BKT 下降端=ON

上升时输出 NY048：晶圆高度测定 BKT 上升=ON

输出 NY049：晶圆高度测定 BKT 下降=OFF

输入 NX02D：晶圆高度测定 BKT 上升端确认=ON

有可能是汽缸驱动部内粘附异物等原因导致的。

(3)：如果执行 1、2 仍然不能解除异常时，可能是由传感器异常或汽缸故障而引起的，需

要对其进行调试或更换。</remedy>

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</code>

<disp>检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能

会出现碰撞，所以机器停机。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：1．请打开正面门。2.请在清除料盘托架上的异物后，再次按下开始

按钮。。3.上述 1、2 的步骤也不能够解除异常时，请确认是否存在遮挡 DX01A 元件翘起

检测(FACE UP) 传感器的光线的物体。反应状态为遮光时 OFF，透光时 ON。

</remedy>

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</code>

<disp>自我诊断异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为晶圆台为上升状态，所以不能切换到自我诊断模式。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请在实行维修保养指令-料盘箱退避（托架更换）、下降晶圆台后，

再次切换到自我诊断模式。</remedy>

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</code>

<disp>没有指定取出元件（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有指定取出的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>无吸取对象元件的异常報告（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>存放检测传感器异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。

如果超出，则请采取下列措施。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开 MWU12i 的料盘箱

门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到了料盘箱和晶圆输送平台之间

的位置，则请先打开 MWU12i 的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如

果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开

始按钮或通过 EquipmentCheck 关闭晶圆 stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放

好晶圆，使晶圆碰到晶圆 stopper。

</remedy>

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</code>

<disp>料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）</disp>