Fuji errorcode - 第3569页

<img /> </code> <code id="8 000F692"> <disp> 无吸取对象元件的异常報告（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：吸取对象元件没有被取出。 ( 补充编码 )</caus e> <remedy …

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<disp>检测到料盘托架上有异物(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：可能是检测到了掉落在托架上的元件等异物。由于在收放过程中可能

会出现碰撞，所以机器停机。(补充编码)

</cause>

<remedy>MWU12i：1．请打开正面门。2.请在清除料盘托架上的异物后，再次按下开始

按钮。。3.上述 1、2 的步骤也不能够解除异常时，请确认是否存在遮挡 DX01A 元件翘起

检测(FACE UP) 传感器的光线的物体。反应状态为遮光时 OFF，透光时 ON。

</remedy>

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<disp>自我诊断异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为晶圆台为上升状态，所以不能切换到自我诊断模式。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请在实行维修保养指令-料盘箱退避（托架更换）、下降晶圆台后，

再次切换到自我诊断模式。</remedy>

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<disp>没有指定取出元件（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有指定取出的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>无吸取对象元件的异常報告（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>存放检测传感器异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。

如果超出，则请采取下列措施。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开 MWU12i 的料盘箱

门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到了料盘箱和晶圆输送平台之间

的位置，则请先打开 MWU12i 的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如

果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开

始按钮或通过 EquipmentCheck 关闭晶圆 stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放

好晶圆，使晶圆碰到晶圆 stopper。

</remedy>

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<disp>料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。

【对策】

（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。

（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污

垢时请清扫料台的导轨部。

即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。</remedy>

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<disp>没有指定存放元件（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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