Fuji errorcode - 第3571页

<disp> 晶圆・料盘取出异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆或者料盘的取出失败了。晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。 ( 补充编码因为晶圆台的晶圆达到确认 (NX035)=ON( 有对象物 ) 、托架存放确认 (NX01B)=OF F ( 有对象物 ) ，所以发生此错…

<cause>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。

【对策】

（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。

（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污

垢时请清扫料台的导轨部。

即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。</remedy>

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<disp>没有指定存放元件（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆・料盘取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。

晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码因为晶圆台的晶圆达到确认

(NX035)=ON(有对象物)、托架存放确认(NX01B)=OFF

(有对象物)，所以发生此错误。 )</cause>

<remedy>MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆・料盘的位置。

请将晶圆台内的晶圆・料盘返回到料盘箱内。

（晶圆・料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）</remedy>

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<disp>元件取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>存放准备位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：PY 轴、TY 轴不在存放准备位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能 ON，所以不能确认晶圆台在

前进端。</remedy>

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<disp>平台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不

能解除。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重

新开始运转。</remedy>

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<disp>自我诊断异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到

料箱内后，再重新向自我诊断模式切换。</remedy>

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<disp>MWU 高度异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )</cause>