Fuji errorcode - 第3572页

<disp> 晶圆台前进端异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：晶圆台不在前进端。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：因为晶圆台前进端确认（ NX 03C ）不能 ON ，所以不能确认晶圆台在前进端。 </remedy > …

<disp>晶圆・料盘取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。

晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码因为晶圆台的晶圆达到确认

(NX035)=ON(有对象物)、托架存放确认(NX01B)=OFF

(有对象物)，所以发生此错误。 )</cause>

<remedy>MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆・料盘的位置。

请将晶圆台内的晶圆・料盘返回到料盘箱内。

（晶圆・料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）</remedy>

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</code>

<disp>元件取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>存放准备位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：PY 轴、TY 轴不在存放准备位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆台前进端异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在前进端。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：因为晶圆台前进端确认（NX03C）不能 ON，所以不能确认晶圆台在

前进端。</remedy>

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</code>

<disp>平台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为晶圆供应装置的平台没有下降，所以塔滑块和滑块盖板的联锁不

能解除。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请实行手动指令-料盘箱退避（托架更换位置），下降晶圆台后，重

新开始运转。</remedy>

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</code>

<disp>自我诊断异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：由于正在拉出晶圆而不能切换为自我诊断模式。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请通过维修保养指令-单元退避菜单内实行退避指令，当金元收存到

料箱内后，再重新向自我诊断模式切换。</remedy>

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<disp>MWU 高度异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>MWU12i：MWU 高度测定结果超出规定范围。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请先将 MWU 与机器分离，然后再确认安装面上是否有异物。2.如

果执行步骤 1 之后异常还是无法消除，则请重新启动机器。3.如果执行步骤 2 之后异常还

是无法消除，则请收集出错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>MWU 供料托架厚度測定異常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：供料托架高度测定的测定结果发生了问题。有可能高度测定传感器的

安装处于不适合的状态或者高度测定传感器出现故障。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>料盘接合片定位点读取异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的读取失败了。请将料盘托盘安装在料盘箱内后重

启运转。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：（１）料盘托盘处于拉出状态时，请根据步骤向导，将晶圆托盘从

料站上拉出后返回到料槽上。

（２）请确认错误影像，确认接合片定位点上是否有污垢或者伤痕。因为污垢等影响不能

进行识别时请进行清扫。

（３）定位点自体没有异常时

（３-１）可能料盘没有被正确安装。安装时请将料盘向料盘箱里面推到底。

之后，请重启运转。

（３-２）料站轨道上有污垢时，可能不能正常拉出。请清扫轨道和料盘托盘。

之后，请重启运转。