Fuji errorcode - 第3575页
<img /> </code> <code id="8 000F702"> <disp> 动力 OFF 异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="…
（４）进行了以上对策后还是发生异常时，请更换料盘托盘。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F6A0">
<disp>MWU 托架高度测定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：
可能是托架两边的某一边插入了错误的站位。如果托架两边都插入了同一站位，则有可能
是高度传感器安装不正确或出现了故障。(补充编码)</cause>
<remedy>MWU12i：
请确认托架两边的某一边是否插入了错误的站位，。如果站位有误，则请先重新装入托
架，然后再重新开始运转。
如果托架两边都插入了同一站位，请确认高度测定传感器的安装情况以及有无故障。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F701">
<disp>动力 ON 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的动力 ON 失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请按下紧急停止 SW 后，确认料盘箱门、侧面盖罩、Tower slide。
为了查明原因，请确认安全继电器 ON 时必需的 IO。
DX000 安全继电器正常
DX001 料盘箱门关闭确认
DX002 Tower slide 关闭确认
DX003 料盘箱 Light Curtain 确认
DX005 侧面盖罩关闭确认
DX00A 紧急停止 SW 正常</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F702">
<disp>动力 OFF 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F703">
<disp>吸嘴更换器挡板打开异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的吸嘴更换器挡板打开失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 ON、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 OFF
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 ON、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 OFF
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F704">
<disp>吸嘴更换器挡板关闭异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的吸嘴更换器挡板关闭失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY04A 吸嘴更换器挡板打开 OFF、
NY04B 吸嘴更换器挡板关闭 ON
时，请进行调整使：
NX04A 吸嘴更换器挡板打开端 OFF、
NX04B 吸嘴更换器挡板关闭端 ON
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F705">
<disp>吸嘴更换器上升异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的吸嘴更换器上升失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY040 吸嘴更换器上升 ON、
NY041 吸嘴更换器下降 OFF
时，请进行调整使：
NX040 吸嘴更换器上升端 ON、
NX041 吸嘴更换器下降端 OFF
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F706">
<disp>吸嘴更换器下降异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 的吸嘴更换器下降失败了。( 补充编码 )</cause>