Fuji errorcode - 第3579页
<cause /> <remedy /> <img /> </code> <code id="8 000F70C"> <disp> 元件 料尽显示闩 锁 ON 异常（晶圆供应装置） < /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：元件 料尽闩锁 ON 控 制时发…
<cause>MWU12i：MWU 的 Pod changer 下降失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：(1)有干渉物时，请取出干涉物后重新进行。
(2)重新进行也不能解除时，请具有维修保养资格的人员进行以下确认。
NY042 Pod changer 上升 OFF、
NY043 Pod changer 下降 ON
时，请进行调整使：
NX050 Pod changer 上升端 OFF、
NX051 Pod changer 下降端 ON
</remedy>
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<code id="8000F709">
<disp>除静电装置复位异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
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</code>
<code id="8000F70A">
<disp>除静电装置放电开始异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
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</code>
<code id="8000F70B">
<disp>除静电装置放电停止异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause />
<remedy />
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<code id="8000F70C">
<disp>元件料尽显示闩锁 ON 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 ON 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>
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</code>
<code id="8000F70D">
<disp>元件料尽显示闩锁 OFF 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：元件料尽闩锁 OFF 控制时发生超时。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请按下[ReadyOn]按钮重新开始运转。
连续发生错误时，请关闭机器电源后，重新启动机器。</remedy>
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<code id="8000F70E">
<disp>紧急停止 SWON 异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT：按下了紧急停止 SW。( 补充编码 )</cause>
<remedy>NXT：请解除紧急停止 SW。</remedy>
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<code id="8000F70F">
<disp>MWU 控制 I/F 板保险丝断开</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 控制 I/F 板的保险丝断开了( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请更换 MWU 控制 I/F 板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手
册的「损耗品的更换」-「MWU 控制 I/F 板保险丝的更换」。
</remedy>
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<code id="8000F710">
<disp>风机旋转异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT：检测出以下其中之一的风机的异常。
・吸气风机
・排气风机 1
・排气风机 2
・其他风机( 补充编码 )</cause>
<remedy>NXT：请打开机器右侧面盖罩后确认控制电路板的 LED（PL13～18），消除异
常原因。
在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>
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<code id="8000F711">
<disp>气源压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>NXT：气源压力低下。( 补充编码 )</cause>
<remedy>NXT：请确认气源压力，消除气源压力低下的原因。</remedy>
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</code>