Fuji errorcode - 第3581页

<code id="8 000F712"> <disp> 真空压力低下异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT ：真空压力低下。 ( 补充编码 )</caus e> <remedy >NXT ：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。 </re …

<disp>MWU 控制 I/F 板保险丝断开</disp>

<cause>MWU12i：MWU 控制 I/F 板的保险丝断开了( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请更换 MWU 控制 I/F 板的保险丝。保险丝的更换方法请参考机械手

册的「损耗品的更换」-「MWU 控制 I/F 板保险丝的更换」。

</remedy>

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<disp>风机旋转异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：检测出以下其中之一的风机的异常。

・吸气风机

・排气风机 1

・排气风机 2

・其他风机( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请打开机器右侧面盖罩后确认控制电路板的 LED（PL13～18），消除异

常原因。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>气源压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：气源压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认气源压力，消除气源压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵压力低下异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的真空压力低下。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的真空压力，消除真空压力低下的原因。</remedy>

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<disp>真空泵变压器异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：检测出真空泵变压器的异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵的变压器。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>真空泵温度保险丝断开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：真空泵的温度保险丝断开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请确认真空泵上部的温度保险丝，并进行更换。

在发布暂定信息、MWU12i 时进行修正。</remedy>

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<disp>料盘箱门打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：料盘箱门打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭料盘箱门。</remedy>

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<disp>Tower slide 打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：Tower slide 打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭 Tower slide。</remedy>

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<disp>滑动式盖罩打开异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料机的滑动式盖罩呈打开状态。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请关闭晶圆供料机的滑动式盖罩。</remedy>

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<disp>晶圆供料机的吸嘴更换器落座确认异常</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴更换器安装不良。( 补充编码 )</cause>