Fuji errorcode - 第3583页

<remedy >MWU12i ：请打开晶圆供应机的安全门并安装吸嘴更换器。在安装了吸嘴更换器的情况下，请确认传感器的状态 [N X042] 。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F71A"> <disp> 晶圆供料机的元件废弃 BOX 落座确认异常 </disp> …

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<disp>料盘箱门打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：料盘箱门打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭料盘箱门。</remedy>

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<disp>Tower slide 打开异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>NXT：Tower slide 打开了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT：请关闭 Tower slide。</remedy>

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<disp>滑动式盖罩打开异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆供料机的滑动式盖罩呈打开状态。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请关闭晶圆供料机的滑动式盖罩。</remedy>

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<disp>晶圆供料机的吸嘴更换器落座确认异常</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴更换器安装不良。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装吸嘴更换器。在安装了吸嘴更换

器的情况下，请确认传感器的状态[NX042]。</remedy>

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<disp>晶圆供料机的元件废弃 BOX 落座确认异常</disp>

<remedy>MWU12i：请打开晶圆供应机的安全门并安装元件废弃 BOX。安装了元件废弃

BOX 时，请确认传感器的状态[NX058]。</remedy>

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<disp>顶起筒更换器前进异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器未达到前进位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。

请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。

・远程操作 I/O 输入的 Pin 号码 NX05C、NX05D

前进位置：NX05C 为 ON、 NX05D 为 OFF

后退位置：NX05C 为 OFF、NX05D 为 ON

</remedy>

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<disp>顶起筒更换器后退异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器后退失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认顶起筒更换器是否适当的进行前进与后退。

请确认传感器的输入状态是否与以下的状态一致。

・远程操作 I/O 输入的 Pin 号码 NX05C、NX05D

前进位置：NX05C 为 ON、 NX05D 为 OFF

后退位置：NX05C 为 OFF、NX05D 为 ON

</remedy>

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<disp>以太网连接失败（晶圆供应机）</disp>

<cause>MWU12i：以太网的连接失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

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<disp>以太网接收失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用以太网接收数据失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

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<disp>星型网络连接失败（晶圆供料机）</disp>