Fuji errorcode - 第3587页

<code id="8 000F749"> <disp> 接收应答失败（晶圆供料机） </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：接收回复的应答失败了。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪…

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>星型网络送信失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：星型网络上的数据送信失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

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<disp>接收数据文件大小不正确（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收的数据文件大小不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>接收数据不正确（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收的数据内容不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>接收应答失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收回复的应答失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>送信应答失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：送信的应答结果发生异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：创建送信数据失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>应答数据受信失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：应答数据的接收失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>应答数据分析失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：应答数据的分析是失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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<disp>发生通信障碍（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：具体内容请参考子码。( 补充编码 )</cause>

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<disp>图表文件模块名异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：该料槽的 Job 的 FeederSetup-PartNumber 与扫描条形码下载的晶圆图

表数据内的 DEVICE 标签页(SEMI 格式时）所指定的信息不一致。

注意）晶圆图表数据的 DEVICE 标签页名根据用户所利用的格式不同而不同。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1．请确认补充的晶圆是否正确。

2.补充的晶圆正确时，请在 FeederSetup-PartNumber 的晶圆图表数据的 DEVICE 标签页上输

入被指定的名称。