Fuji errorcode - 第3588页
<remedy >MWU12i ：一 般不会发生该错 误。请收 集发生错误时的 跟踪数据并联系本 公司 的售后服务人员。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8 000F74D"> <disp> 应答 数据分析失 败（晶圆供料机 ） </disp> <mc>NXT,AI M</m…
<code id="8000F749">
<disp>接收应答失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：接收回复的应答失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司
的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F74A">
<disp>送信应答失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：送信的应答结果发生异常。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司
的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F74B">
<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：创建送信数据失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司
的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F74C">
<disp>应答数据受信失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：应答数据的接收失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司
的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F74D">
<disp>应答数据分析失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：应答数据的分析是失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司
的售后服务人员。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F74E">
<disp>发生通信障碍（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：具体内容请参考子码。( 补充编码 )</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F751">
<disp>图表文件模块名异常（晶圆供应设备）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：该料槽的 Job 的 FeederSetup-PartNumber 与扫描条形码下载的晶圆图
表数据内的 DEVICE 标签页(SEMI 格式时）所指定的信息不一致。
注意）晶圆图表数据的 DEVICE 标签页名根据用户所利用的格式不同而不同。( 补充编
码 )</cause>
<remedy>MWU12i：1．请确认补充的晶圆是否正确。
2.补充的晶圆正确时，请在 FeederSetup-PartNumber 的晶圆图表数据的 DEVICE 标签页上输
入被指定的名称。
3.提供的警员图表数据有可能是未按照。。。。。。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F753">
<disp>基文件通信异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：MWU 与 COMAPI 之间的通信发生了异常。( 补充编码 的子码是 OS 所
反馈的错误编码。)</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F754">
<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：使用 NULL 指针等( 补充编码 的子码表示为存取类型。１：读取 ２：
写入 ３：重命名 )
</cause>
<remedy>MWU12i：(1) 请重新接通电源。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常，请
收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F755">
<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：文件名超出 128 个字符。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读
取 ２：写入 ３：重命名 )