Fuji errorcode - 第3594页

</cause> <remedy >MWU12i ：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F75F"> <disp> 晶圆图表文件存取失败 ( 晶圆供料机 )< /disp> <mc>NXT,AI …

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用了错误的文件标识符。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：读取大小超过 128k 字节。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读

取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：指定的读取大小不能读取所有数据。( 补充编码的子码表示为存取类

型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：想要变更名称时，在同一路径中已存在相同名称的文件。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请按下[ReadyOn]或者[COMP]键重新开始运转。

2.从机器中取出晶圆使机器重新开始运转，出现补充向导后，请再次安装好晶圆后使机器

重新开始运转。

3.请在补充向导画面上实行取出指令。

4.上述的任何一种方法都无法消除异常时，请实行手动指令的[Manage production]-[Clear

wafer map]，重启机器。

此外，[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：指定了未定义的打开模式。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：写入数据的大小不正确。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读

取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：由于数据大小超出了基座上寄存器的磁盘容量，因此不能写入。( 补

充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请删除基座上的寄存器的不要文件。(2)如果采取上述措施后还是

无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>