Fuji errorcode - 第3595页

</code> <code id="8 000F761"> <disp> 晶圆图文件存取失败（晶圆供料机） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：写入数据的大小不正确。 ( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入３：重命名 ) </cause> …

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：想要变更名称时，在同一路径中已存在相同名称的文件。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请按下[ReadyOn]或者[COMP]键重新开始运转。

2.从机器中取出晶圆使机器重新开始运转，出现补充向导后，请再次安装好晶圆后使机器

重新开始运转。

3.请在补充向导画面上实行取出指令。

4.上述的任何一种方法都无法消除异常时，请实行手动指令的[Manage production]-[Clear

wafer map]，重启机器。

此外，[Clear wafer map]指令只有在工程师的权限下才能显示。</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：指定了未定义的打开模式。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：

读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：写入数据的大小不正确。( 补充编码的子码表示为存取类型。１：读

取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：由于数据大小超出了基座上寄存器的磁盘容量，因此不能写入。( 补

充编码的子码表示为存取类型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1)请删除基座上的寄存器的不要文件。(2)如果采取上述措施后还是

无法消除异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图文件存取失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：未完成主电脑与机器间的初始设定( 补充编码的子码表示为存取类

型。１：读取２：写入３：重命名 )

</cause>

<remedy>MWU12i：(1) 请重新接通电源。(2)如果采取上述措施后还是无法消除异常，请

收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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<disp>晶圆图转换失败(导入)</disp>

<cause>MWU12i：导入晶圆图(下载)时，转换失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码表示发生异常的料槽号码。

请按照以下的步骤排除故障的原因。

1.请确认指定料槽的晶圆图名称。2.请通过机器画面左端的 Launcher 窗口启动晶圆图转换

器(WafermapConverter)。2-1.[Setting]-[Upload Setting]-[Upload Distination]的设置为

[DuplicatiMap]时，[DuplicatiMapPath]所设置文件夹内的晶圆图是对象晶圆图。2-2.上述的

文件夹内没有晶圆图或设置为[DuplicateMap]以外的选项时，既定的文件夹内的晶圆图为

对象晶圆图。3.请导入对象晶圆图。4.画面上将显示详细的异常内容，请进行对应处理。

按照上述操作无法解除异常时，请获取报错时的追溯数据并联系本公司的代理店或售后服

务人员。</remedy>

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<disp>晶圆图转换失败(导出)</disp>

<cause>MWU12i：导出晶圆图时(上传)时，转换失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码表示发生异常的料槽号码。