Fuji errorcode - 第3614页

</code> <code id="8 000F7A5"> <disp> 晶圆图表文件存取失败 ( 晶圆供料机 )< /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT ：试图删除晶圆图表文件时，出现访问文件异常，无法完成处理。 ( 补充编码 )</cause> <remedy …

</remedy>

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<disp>未能从晶圆图表中取得 DID</disp>

<cause>MWU12i：由于未能从晶圆图表中取得 DID，因此无法核对元件。[机器功能设

定]-[主机连接功能设定]-[Fujitrax Verifier 设定]-[以条形码读取器读取的 ID]的设定为”贴膜框

架 ID”时，以晶圆图表中取得的 DID 进行元件核对。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：・晶圆图表中确认 DID 是否被定义，如果没有，请修正晶圆图表。

・请确认[机器功能设定]-[主机连接功能]-[Fujitrax Verifier 设定]-[以条形码读取器读取的 ID]

的设定。</remedy>

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<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>NXT-H：安装 MWU12i 后，试图删除上次使用时不要的晶圆图表文件时，访问文

件失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXT-H：请从机器松开 MWU 后再次夹紧。

再次发生异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司 Support 联系。

</remedy>

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<disp>晶圆图表文件存取失败(晶圆供料机)</disp>

<cause>NXT：试图删除晶圆图表文件时，出现访问文件异常，无法完成处理。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>NXT：请重启机器，再次实行清除指令。

再次发生异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司 Support 联系。

</remedy>

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<disp>不能实行机器上晶圆位置检查确认</disp>

<cause>MWU12i：由于没有从吸取开始指定位置到达参考裸芯片的路径，所以不能确认

位置。由于不能判断开始位置是否适当而停止生产。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：选择「RETURN」后返回补充画面。请指定吸取开始位置，使吸取进

行方向有参考裸芯片。

没有能指定的位置时，请更换晶圆再次指定吸取开始位置或者选择「NEXT」(只能选择

Engineer 模式)后，不确认而继续生产。从吸取开始点指定的裸芯片开始生产。</remedy>

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<disp>机上晶圆位置检查确认时路径裸芯片的影像处理错误。</disp>

<cause>MWU12i：从吸取开始指定位置移动到参考裸芯片的影像处理失败，重新进行影

像处理的次数达到上限。由于不能判断开始位置是否适当而停止生产。(补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：选择「RETURN」后返回补充画面。请指定吸取开始位置，使吸取进

行方向有参考裸芯片。

选择「NEXT」(只能选择 Engineer 模式)时，跳过发生错误的裸芯片，进行位置检查后，对

要处理的裸芯片进行影像处理。</remedy>

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<disp>在机器上晶圆位置检查确认时参考裸芯片的影像处理错误</disp>

<cause>MWU12i：在离吸取开始位置行列的相对位置上所应有的参考的影像处理失败

了。吸取开始指定位置有可能错误。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i:确认影像显示，位置偏移时，请选择「RETURN」，重新指定吸取开始

位置。为了识别参考的影像数据搞错时也有发生的可能性。如果能用目测确认没有问题，

选择「NEXT」(只能选择 Engineer 模式)后转移到生产。</remedy>

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<disp>参考裸芯片指定位置异常</disp>

<cause>MWU12i：参考裸芯片的位置指定失败了。

可能在补料操作中指定了位置指定错误的参考裸芯片。

此异常当 Flexa 的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]中指定的参考裸芯片的

位置不符合使用条件（参照对策栏）时也会发生。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将参考裸芯片指定位置指定在满足以下条件的位置上。

1.指定的裸芯片为参考裸芯片。

2.指定的裸芯片周围没有参考裸芯片。

3.指定的裸芯片周围有可以进行影像处理的裸芯片（好裸芯片或坏裸芯片）。

1 时，请在参考裸芯片指定画面上调整位置。

2、3 时，请变更晶圆图表，或者从 Flexa 的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By

Matrix]上，变更参考裸芯片的坐标。