Fuji errorcode - 第3616页

参照手册： Referenc e operation manual</re medy> <img /> </code> <code id="8 000F7AA"> <disp>Rank 信息异常 ( 晶圆供应装置 )< /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ： Job …

选择「NEXT」(只能选择 Engineer 模式)时，跳过发生错误的裸芯片，进行位置检查后，对

要处理的裸芯片进行影像处理。</remedy>

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</code>

<disp>在机器上晶圆位置检查确认时参考裸芯片的影像处理错误</disp>

<cause>MWU12i：在离吸取开始位置行列的相对位置上所应有的参考的影像处理失败

了。吸取开始指定位置有可能错误。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i:确认影像显示，位置偏移时，请选择「RETURN」，重新指定吸取开始

位置。为了识别参考的影像数据搞错时也有发生的可能性。如果能用目测确认没有问题，

选择「NEXT」(只能选择 Engineer 模式)后转移到生产。</remedy>

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</code>

<disp>参考裸芯片指定位置异常</disp>

<cause>MWU12i：参考裸芯片的位置指定失败了。

可能在补料操作中指定了位置指定错误的参考裸芯片。

此异常当 Flexa 的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By Matrix]中指定的参考裸芯片的

位置不符合使用条件（参照对策栏）时也会发生。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请将参考裸芯片指定位置指定在满足以下条件的位置上。

1.指定的裸芯片为参考裸芯片。

2.指定的裸芯片周围没有参考裸芯片。

3.指定的裸芯片周围有可以进行影像处理的裸芯片（好裸芯片或坏裸芯片）。

1 时，请在参考裸芯片指定画面上调整位置。

2、3 时，请变更晶圆图表，或者从 Flexa 的[Shape Process] - [Die] - [Ref Die Pos Info By

Matrix]上，变更参考裸芯片的坐标。

参照手册：Reference operation manual</remedy>

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</code>

<disp>Rank 信息异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：Job 内设定的 Rank 信息可能超过了 16 个种类。或者晶圆图表文件内

设定的 BINCODE 信息可能超过了 16 个种类。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 Job 项目的 PartData-Property-Rank to use。请修正为 16

个种类以内的设定后，重新传送。2．１没有问题时，请打开出现异常的晶圆图表文件，

确认生产中使用的 GOOD DIE 的 BINCODE。修正后可以达到上述 Job 指定的种类加上图表

文件的记述小于 16 个种类的 Rank 信息时，请修正 Job 后重新传送。3．步骤２中需要编

辑图表文件时，作为临时措施，通过将生产中不使用的 GOOD DIE 置换为 BAD DIE 的

BINCODE 等方法，变为可以生产。4．作为３的永久措施，请获取图表文件内使用的

BINCODE 的规格并联系本公司的代理店或售后服务人员，委托进行晶圆图表转换的追加研

发。读入图表文件时提供改进过的转换，可以自动判断指定码是否可以作为 SKIP DIE。

</remedy>

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</code>

<disp>晶圆倾斜度测定失败了。</disp>

<cause>MWU12i:为了补正晶圆的 Q 方向的倾斜度的影像处理时失败了。为了晶圆倾斜

度测定需要能影像处理的裸芯片在 X 方向连续的区域。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i:请移动到以能影像处理的裸芯片在 X 方向连续的区域的中心。在 X 方

向上没有能连续影像处理的裸芯片时，请用「手动对齐模式」修正倾斜度。</remedy>

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</code>

<disp>吸取开始位置在吸取范围之外(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：吸取开始位置超出指定范围。(补充编码子码编码表示现在吸取位置

与吸取范围的位置关系。 (图))</cause>

<remedy>MWU12i：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指

定，所以请事先实施以下任意处理。

1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。

2. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取范围指定为能够覆盖吸取开始位置的数值。

</remedy>

<img>NXT\EN\PickupStartPosOutsidePickupRange.gif</img>

</code>

<disp>不能参照旁边的参考裸芯片的参考裸芯片配置。</disp>

<cause>MWU12i：登录在晶圆图表上的参考裸芯片的分配不规律，所以无法参照旁边的

参考裸芯片。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码「1」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中最上面的参考裸

芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认与登录的参考裸芯片相同行、相同列中有参考裸芯

片。行与列中都必须有参考裸芯片。子码「2」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中

最上面的参考裸芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认登录的参考裸芯片以及周围 8 个裸

芯片的配置与没有登录到 Job 中的参考裸芯片以及周围 8 个裸芯片的配置没有差异。裸芯

片的配置分为「参考裸芯片」、「参考裸芯片以外」和「晶圆图表外」。配置不同时请在

Job 中登录相同配置的参考裸芯片。3.变更 Job 时请重新传送 Job 并再次进行补充。详细内

容请参照参考运用手册。</remedy>

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</code>

<disp>旁边的参考裸芯片影像处理异常</disp>

<cause>MWU12i：因参照旁边的参考裸芯片时影像处理发生异常而停止。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：补充完成后从可吸取的位置上设定吸取开始点并重新开始运转。

</remedy>