Fuji errorcode - 第3621页

<cause>M WU12i ：过滤模式的数据种类设定了未对应的值。 ( 补充编码 )</cause> <remedy >MWU12i ：请使用手动的 [Setting s]-[Wafer Barc ode Fileter] 指令删除对象过滤模式。 </remed y> <img /> </code> <code id="8 000F7B…

・存在超过 321 文字的行

・1 行中的元字符模式、数据类别、删除标志没有被定义

・定义了超过 10 行的过滤模式( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1. 请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令实行导出后，

在 USB 中保存过滤模式。

2. 请使用 PC 的文本编辑器确认导出的过滤文件，并进行修正。

3. 请将修正后的过滤文件通过 USB 导入到机器。

详细内容请参照晶圆条形码过滤器运用手册。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆条形码的过滤模式存在符号错误。(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：存在以下中的一种符号错误。

・元字符模式没有被定义

・使用了禁止文字

禁止文字：「”」(双引号)、「\」(日元符号)、「,」(逗号)、「TAB」(制表符)

・提取部分字符「<>」不存在，或者重复了。

・范围指定字符没有关闭。（没有成对）( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令修正过滤模式。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆条形码过滤器中存在未对应的数据种类。(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：过滤模式的数据种类设定了未对应的值。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模

式。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆条形码过滤器的删除标志错误。(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：指定过滤模式的删除标志为 Y(Yes)或 N（No)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模

式。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码的过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的开始记号的行。

开始记号为「<」(小于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的结束记号的行。

结束记号为「>」(大于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内的提取格式内存在提取区间记号重复的行。

提取区间记号「<」(小于号)、「>」(大于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

<img />

</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件的提取格式内存在没有提取对象数据的行。

提取区间内需要有任意的元字记号类型。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

<img />

</code>

<disp>未按 Process Times 的间隔进行影像处理。</disp>

<cause>MWU12i：由于未按 Process Times 的间隔进行影像处理，所以停止了生产。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：补完料之后，请设置吸取起点并重启生产。</remedy>

<img />